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细说plasma等离子设备保养周期和方法

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发布时间：

2021-07-05

小编近期在售后工程师那整理了关于plasma等离子设备保养周期及方法，具体如下：
一、托架的翻新和维护
（1）滚筒拆卸后需清洗，清洗完毕再安装，滚筒不得用氢氧化钠和硫酸浸泡清洗；
（2）支架在10%氢氧化钠溶液中浸入，浸入时每2分钟检查支架一次，等到去掉残渣。清洗时间取决于每个支架上积存的残渣数量；
（3）将托架浸入硫酸和水(重量为5%)的溶液中1分钟后(不能干燥)，立即进入下一步(该步骤主要去除氧化层，干燥后氧化层再次附着，难以清洗)；
（4）用蒸馏水冲洗托板架两次，每次3min；
（5）使托板架彻底干燥（用布先擦干）；
（6）将托板架的滚轮安装，如必要，更换滚轮绝缘垫片。
plasma等离子设备二、气体管道检查
利用气体品质流量控制器来准确测量机器的气体品质流量控制器，并参考其（检）测值对设备的气体流量控制器进行校正。亦可参照同腔真空度检查，关闭总阀后检查显示O2、N2、CF4管路压力值，如发现数值有变化，用肥皂水喷洒在管路接口处观察，如有气泡，再更换接头恢复正常。
三、冰水和热转换系统的维护:
冰水机和模具温度机的检查，plasma等离子设备除胶过程的温度控制在85℃，电极的热转换液用模具温度机调节温度。在实际应用中利用纯水时，还是会有相当一部分杂质与铝发生腐蚀反应而形成积垢。水垢过多会导致氟龙管及接头老化、堵塞，PCB等离子机除胶过程温度不稳定。定期检查热循环系如发现老化，需及时更换铁氟龙水管和接头。模温机是通过加热棒和冰水冷却液进行温度调整的，一般说PID整定是固定的，模温机输出的温度不会有什么偏差。但要定期去检查实际生产中腔体温度是否与模温机设定温度一致和温度达到要求所需的速度。如果发现实际生产温度与模温机温度不一致，就要检查分布在腔体内的温度探头，这也是导致PCB除胶不均匀的因素。温度上升的速度过于慢就要检查热循环系统的管道。
四、冰水机一般是循环冰水使冷却液冷却的
它有两个水系统，一个是循环冰水，另一个是芯冷却转换水。有两组过滤棉芯。如果过滤棉堵塞不畅，冰水将超温，真空泵将超温，设备将报警。棉芯必须定期检查和更换。
五、真空泵维护:
检查真空泵的油位和纯度，观察油位窗口，发现油位接近很低红线刻度，加油到红线上下位置。
六、定期维护计划:
在plasma等离子设备的利用过程中，腔体中出现的一些残留物和氧化层不会影响设备的运行或成品。但在连续运行后，发现除胶结果不稳定，可以察觉到微小的变化，因此在利用一段时间后板架和电极进行清洗翻新。与此同时，设备故障也直接反映了设备的维护程度。如经适当的维修、翻新，电极的使用年限可达到预期大值。因此对等离子清洗设备的原理和构成进行可行性维护是很重要的。真空环境、高能(RF、温度、气体处理)和介质(腔体、电极、支架)是等离子设备的三大条件。于是plasma等离子设备的保养应从以上几个方面入手，按照保养项目划分周期分为每日、周、月、半年、一年、二到三年。
当前，采用plasma等离子设备脱胶工艺取代传统的化学溶剂脱胶和高温氧气脱胶，赢得了显著的结果。生产实践中，不仅影响等离子除胶的工艺技术，而且还涉及到设备的稳定性，如工艺气体的微量泄漏、电极支架上的烃基残留、腔体内其它管道的氧化程度，以及设备本身不同程度的故障等，这些都是PCB制造过程中直接影响到生产。因此，做好plasma等离子设备维护保养很必要。