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干法微米级表面处理技术_等离子体技术

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发布时间：

2021-07-05

据小编了解等离子体技术作为一种干法微米级表面处理技术，可以有效均匀可控地处理半导体材料、石英、陶瓷、高分子塑料、橡胶等材料并广泛应用在关键工艺生产中，例如集成电路芯片的早期生产末期封装、LED生产、LCD液晶屏的、连接器的加（工）艺中等等。
等离子体技术

集成电路芯片加（工）工艺需要，早期芯片制造，末期封装及相混电源电路等的可持续发展;陶瓷、石英、高分子工程塑料等表面（纳）米级的（活）化改性，由非极性到带有一层（纳）米级的极性材料表层，以提高材料表面物理和化学的粘接印刷涂覆上漆性能，贴近生（活）化的如制鞋业的工艺生产需要，连接器上logo的印刷等;LCD液晶显示屏表面有（机）物干扰材料的去除;金属表层氧化物的去除等;等离子清洗的应用例子极为广泛，而在设备反应腔室的电极载物托盘上进行托盘等离子有效区的整体均匀加热，在腔室四周外壁和真空门进行水冷，成为了促进等离子处理过程的有效方法。
很多产品被沾污比如有:有（机）物如玻璃表面的油污、环氧基聚合物、氧化物如氧化银等、氮氧化物、光刻胶，焊料残余、金属盐等。针对不同的基材和污垢，应采用不同的清洗方法：氧气、氩气、氯基气、氢气等工艺气体类型和流量控制；常用的13.56MHz、40kHz、2.45GHz等不同的电源功率是否设计有针对性的磁场来加速等离子体；是否设计有磁场，以定向加速等离子体。

利用等离子体技术活跃的物理化学电磁流体特性，可以实现一系列传统湿法处理所不能实现的反应过程和处理（效）果，产生速度快、能量高、无污染、处理对象广泛、整体成本低、无需干燥处理，占用空间小等。气体放电瞬间产生等离子体，处理几秒钟就可改变表面性质，时间长的达到45min左右不仅被（活）化，还会被刻蚀及处理厚度微米级加厚。例如氧等离子体去除物体表面的油污污垢，等离子体技术对油污污垢的影响与使油污污垢发生燃烧反应相似，但其区别在于低温条件"。其基本原理:在氧等离子体中的氧原子自由基、激发状态的氧分子、電子、太阳中的紫外线的相互影响下，油污分子后面被水和CO2分子氧化，从物体表面去除。
等离子体技术可以处理的材料有：
1、带聚酯薄膜的纸板。
2、带金属涂层的纸板。
3、太阳中的紫外线涂层纸板(太阳中的紫外线油固化后不能脱层)
4、浸渍纸板。
5、聚酯、聚丙烯等透明塑料薄片。
综上分析，等离子体技术能提高纸箱的表面张力和粘结强度，从而提高产品质量。用冷胶或低品牌普通胶代替热熔胶，减少胶水用量，有效（降）低生产成本。利用等离子体技术，可以用UV、PP涂层等难粘材料用水性粘合剂将粘合剂粘合得很牢固，淘汰机械磨光、冲孔等工艺产生的灰尘和碎屑符合药品和食品包装的（安）全要求，有利于环保。等离子体处理工艺不会在纸盒表面留下痕迹，同时也减少了气泡的产生。