真空离子清洗机广泛应用于表面去污及等离子刻蚀

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• 作者：等离子清洗机-CRF plasma等离子设备-等离子表面处理机厂家-诚峰智造
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• 发布时间：2021-06-07
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【概要描述】       真空等离子清洗机由真空发生系统、电气控制系统、等离子发生器、真空腔体及相关机械等几个部分构成。应用时可以根据客户的要求定制符合客户需要的真空等离子清洗机。真空等离子清洗机利用两个电极形成电磁场，用真空泵实现有效的真空度，随着气体越来越稀薄，分子之间的间距及分子或离子的自由运动的距离也越来越长，受磁场作用发生碰撞而形成等离子体并产生辉光。等离子体在电磁场内的空间运动，并不断轰击被处理物体表面，去除表面油污以及表面氧化物、灰化表面有(机)物以及其它化学物质，以此达到表面处理清洗和刻蚀的效(果)。真空离子清洗机广泛应用于表面去污及等离子刻蚀，聚四氟（PTFE）及聚四氟混合物的刻蚀、塑料、玻璃、陶瓷的表面(活)化和清洗、等离子涂镀聚合等工序，因此广泛应用于汽车领域、电子领域、军工电子领域、PCB制成行业等高精密度领域。        真空等离子清洗机整个清洗过程大致如下：        1、首先将被清洗的工件送入真空机并加以固定，启动运行装置开始排气，让真空腔内的真空程度达到10Pa左右的标准真空度。一般排气时间大约需要几分钟。        2、然后向真空室内引入等离子清洗用的气体，并保持腔内压强稳定。根据清洗材料的不同，可分别使用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳等气体。        3、在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压，使气体被击穿并通过辉光放电而发生等离子化和产生等离子体，让在真空腔内产生的等离子体笼罩住被处理的工件并开始清洗作业，一般清洗处理持续几十秒到几十(分)钟不等，根据处理材质的不同而定。        4、清洗完毕后切断电源，并通过真空泵将气体和气化的污垢抽走排出，清洗结束。        真空等离子清洗机维护保养：注意：在开始进行任(何)保养或维修前，应采取所有的相关安(全)防范措施，不仅(限)于本使用手册中提到的内容。        1、将设备电源开关关闭，断开总电源保护器。        2、关闭所有气体。        3、准备所需工具箱。        真空腔体及真空发生系统的保养        a.真空腔和电极板是处理工件的工作区，当使用到一定时间后腔体内会残留部分污垢，附着在电极板及腔体壁上。处理方法：当连续使用一个月后，应用无尘布（纸）沾酒精清洁所有电极板及腔体壁，保持腔体清洁。        b. 观察窗是工作人员在工作时对腔体内放电情况进行观察所用，在使用一段时间后会造成观察窗玻璃的表面微蚀，使其变得模糊不清。处理方法：用无尘布（纸）沾酒精或丙酮对玻璃进行清洁或直接更换真空玻璃。        c.真空泵内所使用油为防氧化专用油，及时更换有利于真空泵的正常工作，延长泵体的使用寿命，建议每三个月更换一次，应经常注意观察真空泵内油量是否充足，油面计指示油面若低于使用下限（油面计旁边有明确标识），及时注入新油致正常用油量。        真空等离子清洗机拥有诸多优势：如采用数控技术自动化程度高；具有高精度的控制装置，时间控制精度高；正确的等离子体清洗不会在表面产生损伤层，表面质量得以保证；清洗工作在真空环境中进行，清洗过程环保(安)全，不会污染环境，且有效保证清洗表面不会被二次污染。