为何IC半导体行业离不开plasma等离子体清洗机

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• 作者：等离子清洗机-CRF plasma等离子设备-等离子表面处理机厂家-诚峰智造
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• 发布时间：2021-06-02
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【概要描述】       在IC半导体制造领域中，plasma等离子体清洗机已是一种不可替代的成熟设备，不论在芯片源离子的注入，还是晶元的镀膜，亦或是低温等离子体表面处理设备所能达到的：在晶元表面去除氧化膜、有(机)物、去掩膜等超净化处理及表面活(化)提高晶元表面浸润性。，plasma等离子清洗机改性活(化)设备是干式清洗设备，对产品不但是清洗，并且还能够蚀刻、灰化、激发表层活性，不仅可以提高粘接质量，而且为使用低成本材料提供了新的技术可能性。       plasma等离子清洗机能够彻底消(除)材料表面的有(机)污染物或者无机污染物，改善浸润性，可以明(显)改变这些表面的粘接性及焊接强度并去除残留物。等离子清洗机可以轻松解决活性、蚀刻工艺、除污等原材料表层问题面处理活(化)刻蚀涂层。plasma等离子清洗机在清洁材料表面的同时，还能对材料表面进行活(化)，有利于材料进行下一道的涂覆粘接等工艺。等离子处理机广泛应用于plasma等离子清洗、刻蚀、等离子镀膜、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等工艺。通过其处理，能够改善材料的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有(机)污染物、胶渣、浮尘等杂质。