断电时,检查等离子清洗机尾侧电源侧保险箱内的保险管

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• 作者：等离子清洗机-CRF plasma等离子设备-等离子表面处理机厂家-诚峰智造
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• 发布时间：2021-05-17
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【概要描述】断电时,检查等离子清洗机尾侧电源侧保险箱内的保险管 1、把真空探头及延长管部件绕绕生带，然后连接到三通连接阀。 2、用舱门将连接完整的管道部件连接起来。 3、将真空软管套在空腔的尾部，将软管与空腔的接头卡锁。 三通阀指向关闭状态(箭头向下)，此时一般为抽真空运行。 首先接上电源，启动真空泵，观察真空泵的旋转方向是顺时针方向(检测后，关闭电源)；启动真空泵，在真空泵和等离子清洗机封接上的前提下，然后将反应舱盖盖上，让真空泵旋转5分钟左右。这时真空泵正在抽真空舱内的空气(此时等离子清洗机已关闭)；大约5分钟后，等离子舱将慢慢地产生光亮。把真空室里的空气抽出来。 1、将样品置于舱内；关闭三通阀(箭头朝下)；紧握清洁机门，接近真空室；打开真空泵的电源开关，等待几分钟等待抽空舱内空气的释放，清洁机门。 2.抽气，打开与室内空气相通的三通阀(lever指向针形阀needlevalve)；轻轻打开针型阀，让空气进入清洗机舱内。(首先关闭needlevalve)。形成一个等离子体。打开等离子清洗机前控制面板的电源开关；使用射频开关，选择合适的射频频率；观察等离子面或上方的孔洞，直到能看到发光现象。大气辉光产生的能量应为紫粉色。说明产生了等离子体；轻轻调整针型阀门，直到等离子体密度明显最大化。 等离子化加工处理，按规定时间处理样品；处理完RF(off)后将其关闭；关闭等离子清洗器的电源。 注意事项： 断电时，检查等离子清洗机尾侧电源侧保险箱内的保险管是否正常，没有烧断的迹象；如果检查不合格，建议更换匹配保险管。接通电源(打开等离子控制面板左下角的电源开关)，检查RF档位在低、中、高时(LOW/MED/HI)荧光灯是否全部点亮(将荧光灯置于反应舱内，用手悬空拿起；一般在低档位时较难点亮，建议从高档位开始)。如检测失败(证明电浆内的真空管或电子元件烧毁，荧光灯未点亮)，需联系厂家更换或修理。