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首页 >> 公司产品 >>真空式等离子处理系统 >> 真空式等离子处理系统CRF-VPO-8L-S
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真空式等离子处理系统CRF-VPO-8L-S

第二十个.PNG

名称(Name)

真空式等离子处理系统

型号(Model)

CRF-VPO-8L-S

控制系统(Control system)

PLC+触摸屏

电源(Power supply)

380V/AC,50/60Hz,3kw

中频电源功率(MF Power)

600W/13.56MHz

容量(Volume)

80L(Option)

层数(Electrode of plies)

8(Option)

有效处理面积(Area)

400(L)*300(W)(Option)

气体通道(Gas

两路工作气体可选 Ar、N2、CF4、O2

 

产品特点:超大处理空间,提升处理产能,采用PLC+触摸屏控制系统,精确的控制设备运行。

可按照客户要求定制设备腔体容量和层数,满足客户的需求。

保养维修成本低,便于客户成本控制。

高精度,快响应,良好的操控性和兼容性,完善的功能和专业的技术支持。

应用范围:主要适用于生物医疗行业,印制线路板行业,半导体IC领域,硅胶、塑胶、聚合体领域,汽车电子行业,航空工业等。












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