0755-3367 3020

138 0226 5712

Home page

Company profile

Company products

News information

Solution

More

首页 >> 新闻动态 >>技术支持 >> 等离子表面蚀刻 
详细内容

等离子表面蚀刻 

等离子表面蚀刻

 

    1.几乎所有种类的有机材料都可以被等离子蚀刻。蚀刻效果是基于相同的化学反应的清洗效果。通过正确选择气体的组成和比例,采用适当的激发频率,调整不同的功率、真空度、处理时间等可以达到最佳的处理效果。

    2.除了氧气可使用其它气体增加蚀刻率,大多数情况下可以采用四氟化碳。在此过程中四氟化碳产生的自由基超过氧气等离子体的活性。然而四氟化碳的比例到达一定的临界点,活性会逐渐下降,同时它们的反应气体必须配上适当的过滤器来控制。

    3.对于蚀刻量较大的工件可以采取湿式化学蚀刻和低温等离子体干式蚀刻相结合的方法,使得处理效果更加完美。                     

 

等离子蚀刻的优势

缝隙渗透性良好,非常适合微孔    具有几乎所有的电介质蚀刻     工艺可控,一致性好
支持下游的干燥工艺    使用成本、废物处置成本低    环保工艺,对操作人员身体无伤害
 

应用行业

半导体、微电子     印制电路板      生物芯片       太阳能硅片蚀刻

 

aetzen1_en.gif圖一為要需要等離子蝕刻處理的材料。


 


 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 


   

 

 

 

 

圖二為已被電離化的氣體分子團(Plasma)對被處理材料 的分子團進行撞擊及反應。

O2是利用自由原子以化學方法蝕除有機物的

                 O2 + e ------> 2O+e         CO2 + H2O+e

- 將材料的分子團擊成更小的分子,反應後變成可揮發性的氣體 aetzen2.jpg

 

圖三為各氣體跟材料的反應

 

Picture1.png

 

圖四為揮發性的氣體由抽真空裝置排出和材料已經完成表面處理

 

 

aetzen3.gif

 




网站导航
产品系列

微信公众号

销售热线:0755-3367 3020

                 0755-3367 3019

公司邮箱:sales-sfi@sfi-crf.com
公司传真:0755-2726 7268
公司地址:深圳市宝安区黄埔孖宝工业区
  • 电话直呼

    • 0755-33673019
    • 0755-33673020
    • 13802265712
    • 技术何先生 :
    • 客服周小姐 :
    • 客服陈先生 :
  • 技术服务客服微信

技术支持: 奇科(深圳)科技有限公司 | 管理登录