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等离子清洗机的相关应用

1、等离子刻蚀
在等离子刻蚀过程中,通过处理气体的作用,被刻蚀物会变成气相(例如在使用氟气对硅刻蚀时)。处理气体和基体物质被真空泵抽出,表面连续被新鲜的处理气体覆盖。不希望被刻蚀部分要使用材料覆盖起来(例如半导体行业用铬做覆盖材料)。

等离子方法也用于刻蚀塑料表面,通过氧气可以灰化填充混合物,同时得到分布分析情况。刻蚀方法在塑料印刷和粘合时作为预处理手段是十分重要的,如POM、PPS和PTFE。等离子处理可以大大地增加粘合润湿面积。

大气常压等离子清洗机

2、PTFE刻蚀
PTFE刻蚀在未做处理的情况下不能印刷或粘合。众所周知,使用活跃的碱性金属可以增强粘合能力,但是这种方法不容易掌握,同时溶液是带毒性的。使用等离子方法不仅保护环境,还能达到更好的效果;等离子结构可以使表面最大化,同时在表面形成一个活性层,这样就能够进行对塑料粘合、印刷操作。

PTFE混合物的刻蚀必须十分仔细地进行,以免填充物被过度暴露,从而削弱粘合力。处理气体可以是氧气、氢气和氩气。可以应用于PE,PTFE,TPE,POM,ABS和丙烯。

3、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洁
塑料、玻璃、陶瓷与聚丙烯、PTFE一样是没有极性的,因此这些材料在印刷、粘合、涂覆前要进行处理。同时,玻璃和陶瓷表面的轻微金属污染也可以用等离子方法清洁。

等离子处理与灼烧处理相比不会损害样品。同时还可以十分均匀地处理整个表面,不会产生有毒烟气,中空和带缝隙的样品也可以处理。
a、不需要用溶剂进行预处理
b、所有的塑料都能应用
c、具有环保意义
d、占用很小工作空间
e、成本低廉
常用的处理气体为空气、氧气、氩气、氩氢混合气体、CF4等。

自动On-Line(轴轮式)式AP等离子处理系统

4、等离子涂镀
在涂镀中两种气体同时进入反应舱,气体在等离子环境下聚合。这种应用比活化和清洗的要求更严格一些。典型的应用是保护层的形成,应用于燃料容器、防刮表面、类似PTFE材质的涂镀、防水涂镀等。
涂镀层非常薄,通常为几个微米,此时表面的亲和力非常好。常用的有防水涂镀-环己物;类似PTFE材质的涂镀-含氟处理气体;亲水涂镀-乙烯醋酸。

5、TEM样品
等离子清洗机在处理TEM样品具有明显的优势。处理后生成物为二氧化碳和水,不会对环境造成污染,由于TEM工作在非常洁净的环境中,所以等离子清洗是目前处理TEM样品最为理想的技术。它的优势在于处理完后无残留物;可以防止TEM样品在以后的使用中形成污斑;在非常敏感的薄膜的微量分析中,使用低能量的X光,不会形成吸收层;在高扩大率下得到更好的数据;最真实的表面成像和表面成分分析;成本低、便于操作;即使样品表面未形成污点,也可以通过等离子处理来优化观察表面。
另外,等离子清洗机还应用于医学研究、微生物工程等诸多领域。

大型真空等离子清洗机

结论
等离子表面处理这门工艺现在正应用于LCD,LED,IC,PCB,SMT,BGA,引线框架,平板显示器的清洗和刻蚀等领域。等离子清洗过的IC可显著提高焊线绑定强度,减少电路故障的可能性;溢出的树脂、残余的感光阻剂、溶液残渣及其他有机污染物暴露于等离子体区域中,短时间内就能清除。PCB制造商用等离子处理来去除污染物和带来钻孔中的绝缘物。对许多产品,不论它们是应用于工业还是电子、航空、健康等行业,其可靠性很大一部分都依赖于两个表面之间的粘合强度。不管表面是金属、陶瓷、聚合物、塑料或是其中的复合物,经过等离子处理以后都能有效地提高粘合力,从而提高最终产品的质量。等离子处理在提高任何材料表面活性的过程中是安全的、环保的、经济的。

等离子清洗机可选择三种不同的射频频率,以适应不同的清洗效率和清洗效果需要。可以更灵活的操作,简便地改变处理气体的种类和处理程序;不会对科研人员的身体造成伤害;其成本对于等离子处理方法来说是物超所值的。

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