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真空等离子清洗机的构成及其工作原理

真空等离子清洗机由真空发生系统、电气控制系统、等离子发生器、真空腔体及相关机械等几个部分构成。应用时可以根据客户的要求定制符合客户需要的真空等离子清洗机


真空等离子清洗机利用两个电极形成电磁场,用真空泵实现有效的真空度,随着气体越来越稀薄,分子之间的间距及分子或离子的自由运动的距离也越来越长,受磁场作用发生碰撞而形成等离子体并产生辉光。等离子体在电磁场内的空间运动,并不断轰击被处理物体表面,去除表面油污以及表面氧化物、灰化表面有机物以及其它化学物质,以此达到表面处理清洗和刻蚀的效果。


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真空离子清洗机广泛应用于表面去污及等离子刻蚀,聚四氟(PTFE)及聚四氟混合物的刻蚀、塑料、玻璃、陶瓷的表面活化和清洗、等离子涂镀聚合等工序,因此广泛应用于汽车领域、电子领域、军工电子领域、PCB制成行业等高精密度领域。


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真空等离子清洗机整个清洗过程大致如下:

1、首先将被清洗的工件送入真空机并加以固定,启动运行装置开始排气,让真空腔内的真空程度达到10Pa左右的标准真空度。一般排气时间大约需要几分钟。

2、然后向真空室内引入等离子清洗用的气体,并保持腔内压强稳定。根据清洗材料的不同,可分别使用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳等气体。

3、在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压,使气体被击穿并通过辉光放电而发生等离子化和产生等离子体,让在真空腔内产生的等离子体笼罩住被处理的工件并开始清洗作业,一般清洗处理持续几十秒到几十分钟不等,根据处理材质的不同而定。

4、清洗完毕后切断电源,并通过真空泵将气体和气化的污垢抽走排出,清洗结束。


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真空等离子清洗机拥有诸多优势:如采用数控技术自动化程度高;具有高精度的控制装置,时间控制精度高;正确的等离子体清洗不会在表面产生损伤层,表面质量得以保证;清洗工作在真空环境中进行,清洗过程环保安全,不会污染环境,且有效保证清洗表面不会被二次污染。

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