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真空等离子设备腔体大小与进气方式对均匀性的影响?

影响真空等离子清洗机均匀性的因素很多,包括腔体大小、进气方式、电极结构、电源频率、气体流量、功率大小等等,今天谈谈腔体大小和进气方式对均匀性的影响,仅供参考:

 

1、真空等离子清洗机腔体的容积越大,均匀性越难掌控,尤其对电源的选择要慎重。诚峰智造可根据客户产品规格和产量进行定制真空等离子清洗机腔体,可进行个性化的设计。但如等离子发生器只选用13.56MHz的RF电源,那么建议尽量控制在600L以内,腔体越大所需的RF电源功率就越大;尤其是使用3000W及以上功率,则建议使用美国AE、MKS或其他进口的RF电源,成本相对较高,但稳定可靠。如处理的产品对均匀性要求高,建议使用40KHz的中频电源或将真空腔体控制在100L以内。


 2、诚峰智造真空等离子清洗机的进气排气方式,经过测试均匀性相对较好。腔体内的进气管通常用铝管,将铝管弯折并焊接成类似方形结构并在铝管上开孔,开孔位置在两层电极板的中间,保证每层处理空间都有独立的进气口。如下图所示:

微信图片_20180815173624.jpg

大腔体设备的进气结构会有所变化,具体结构还要看腔体大小:

 

以上关于腔体大小和进气方式对等离子均匀性的影响描述对您有什么启发?您有什么看法或想法,欢迎大家留言与我们交流和分享。


深圳市诚峰智造有限公司,真诚感谢新老客户长期以来对等离子技术的关注及对我公司的信任与支持。并欢迎新老客户前往我公司参观指导。




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