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全自动On-Line式等离子处理系统

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真空等离子处理系统

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消费类电子行业

大部分产品的表面均存在有机或无机的污染物,由此在后工序加工时会影响产品的品质,特别是对于需要粘接、印刷、贴合等工序时。此时需要等离子进行表面清洁处理。

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新能源行业

如:1、玻璃基板去除表面污染物,使工件表面亲水性大大提高;2、ITO阳极表面改性,改善器件的光伏性能;3、通过采用等离子体技术,可活化硅片表面,大大提高其表面附着力。

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汽车制造业

随着经济的发展,消费者对汽车的性能要求越来越高,如汽车的外观、操作舒适性可靠性、使用耐久性等要求也不断提高。为了满足消费者的要求,各汽车厂家在生产汽车时更注重细节方面的优化改进

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半导体芯片行业

对芯片与封装基板的表面进行等离子体处理能有效增加其表面活性,极大的改善粘接环氧树脂在其表面的流动性,提高芯片和封装基板的粘结浸润性,减少芯片与基板的分层,改善热传导能力,提高IC封装的可靠性稳定性,增加产品的寿命。

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医疗行业

如:介入治疗用的心脏冠状动脉支架,经等离子体清洗之后还要用等离子体涂敷上抗血凝和抗表皮增生材料。

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重工业领域

如:1、锂电池隔膜行业通过等离子处理改善了材料表面特性,大大提高了电池性能;2、航空航天连接器通过等离子处理改善了材料表面特性,大大提高了电池性能;增强其表面活性,使得粘接效果明显改善。

等离子设备-应用于移印、丝网印刷、胶版印刷等各种常用印刷工艺

        等离子设备其应用原理是等离子体前处理能够使低附着力的丝网印刷油墨稳定长时间地附着在难以附着的表层,如聚丙烯、聚乙烯、聚酰胺一、聚碳酸酯、玻璃或金属材料等表层。 (1)由于等离子设备技术的高(效)性,也提高了产品的包装印刷速度。例如,在一些包装产品上进行包装印刷时,包装印刷速度可能会提高30%。等离子设备前处理作为印刷前的前处理工艺,提高了溶液墨水的持久附着力,提高了包装印刷图像的产品质量,增强了包装印刷产品的耐久性和耐老化性,使颜色更鲜艳,图案包装印刷更(精)确。与电晕处理相比,如果在热敏原料表面处理均匀的等离子,就不可能对表面造成其他伤害。 (2)等离子设备为涂装过程表层前处理是保证后期喷涂质量的前提条件,等离子设备可保证此功能。对于许多企业的涂料工艺流程来说,节能环保的水性涂料工艺是其加工的关键阶段。常压型等离子设备前处理工艺的应用为水性涂料的制造提供了可能。等离子设备前处理能够去除表层上的油污和灰尘,并为原料提供更高的表面能量。等离子设备前处理技术的清洗(效)果去除了表层的油污,等离子设备的静电作用去除了附着在表层上的灰尘粒子,化学变化(效)果提高了表层的能量,这些水平的综合(效)果使等离子设备前处理技术成为高(效)的专用工具,通常说采用等离子清洗设备,实现可靠、持久的粘接。 (3)等离子设备表面处理的高(活)化性是塑料材料长期牢固的粘结质量所致。除了塑料之间的粘接,等离子设备技术已经成功地应用于零件组装过程中的结构粘接。例如,在汽车工业中,热管散热器和卡车车身的粘接面经过等离子设备前处理。等离子设备前处理后,不需要额外的清洗或其他前处理工艺,等离子设备技术能够保证高粘接强度。 (4)结合两种不同原料的新技术,等离子技术应用于双组分注塑工艺,新的复合材料应用于等离子设备技术的制造,能够在双组分注塑成型过程中将2种不谦容的原料稳固黏合在一块。这主要涉及硬胶和软胶的黏合,如硅胶和聚丙烯的复合材料。双组分注塑工艺制造复合材料的生产成本很经济,还可以制造对原料有严格特殊要求的新产品。         笔者从四点讲述了等离子设备应用于移印、丝网印刷、胶版印刷等各种常用印刷工艺的案例,希望帮到更多有需求的朋友认识等离子设备。
2021-07-20 190

重工业

应用于电池隔膜处理,提高吸碱率及亲水性。电池隔膜均为高分子材料,极性弱。分子难以透过,使用等离子处理后,改善了材料表面特性,大大提高了电池性能。 
2020-06-10 52

医疗行业

导尿管给需要留置导尿的患者带来了福音,在临床上的应用越来越广,但随着其应用的增多,导尿管拔除困难的情况也越来越常见。特别是长期留置的导尿管,有时由于橡胶的老化会造成气囊管腔的阻塞,强行拔除时可能会引起严重的并发症。为了防止硅橡胶与人体接触表面的老化,需要对其表面进行氧等离子处理。用扫描电子显微镜(SEM)、红外光谱(FTIR-ATR)和表面接触角研究天然胶乳导尿管经氧等离子体处理前后的表面结构、性能和化学成分的变化,结果表明用低温等离子设备公司氧等离子体处理后的导尿管表面变滑,表面接触角由84度减少至67度,表面无有害基团产生,说明氧等离子体处理是一种有效的等离子表面处理方法。 另外,可用大型等离子清洗机或者小型的处理硅橡胶以增加其表面活性,然后在表面涂度一层不易老化的疏水材料,其效果也非常好。    2.静脉输液器 输液器末端输液针在使用过程中,拔出时针座与针管之间会出现脱离现象,一旦脱离,血液会随针管流出,如不及时正确处理,对病人会造成严重威胁。为了确保这类事故的发生,对针座进行表面处理是非常必要的。针座孔非常小,普通方法难处理,而等离子体是一种离子状态的气体,对微小的孔也可以有效处理。应用大型等离子清洗机等离子对其进行表面活化处理,可改善表面活性,提高其与针管的粘接强度,确保它们之间不会脱离。下图为针座在等离子清洗机中进行等离子表面清洗活化处理。 3.生物培养板 诚峰智造低温等离子设备公司清洗设备可用于改善培养板表面亲水性,接枝特定化学基团,并进行表面杀菌。  
2020-06-10 0

半导体芯片行业

芯片或者硅片与封装基板的粘接,往往是两种不同性质的材料,材料表面通常呈现为疏水性和隋性特征,其表面粘接性能较差,粘接过程中界面容易产 生空隙,给密封封装后的芯片或硅片带来很大的隐患,硅片清洗机工业等离子清洗机可以对芯片与封装基板的表面进行等离子体处理能有效增加其表面活性,等离子处理机极大的改善粘接环氧树脂在其表面的流动性,提高芯片和封装基板的粘结浸润性,减少芯片与基板的分层,改善热传导能力,提高IC封装的可靠性稳定性,增加产品的寿命。 引线框架的表面处理 微电子封装领域采用引线框架的塑封形式,仍占到80%,其主要采用导热性、导电性、加工性能良好的铜合金材料作为引线框架铜的氧化物与其它一些有机污染物会造成密封模塑与铜引线框架的分层,造成封装后密封性能变差与慢性渗气现象,同时也会影响芯片的粘接和引线键合质量 ,确保引线框架的洁净是保证封装可靠性与良率的关键,经等工业离子处理机清洗后引线框架表面净化和活化的效果成品良率比传统的湿法清洗会极大的提高,并且免除了废水排放,降低化学药水采购成本。 优化引线键合(打线) 集成电路引线键台的质量对微电子器件的可靠陛有决定性影响,键合区必须无污染物并具有良好的键合特性。污染物的存在,如氯化物、有机残渣等都会严重削弱引线键台的拉力值。传统的工业清洗机湿法清洗对键合区的污染物去除不彻底或者不能去除,而采用等离子体厂家设备清洗能有效去除键合区的表面沾污并使其表面活化,能明显提高引线的键合拉力,极大的提高封装器件的可靠性。
2020-06-10 0

汽车制造业

随着经济的发展,消费者对汽车的性能要求越来越高,如汽车的外观、操作舒适性可靠性、使用耐久性等要求也不断提高。为了满足消费者的要求,各汽车厂家在生产汽车时更注重细节方面的优化改进,如进行 (1)仪表板在柔性聚氨酯(PU)涂覆前处理 (2)控制面板在粘台前处理 (3)内部PP零件植缛前处理 (4)汽车门窗密封件的处理 以前未经任何处理仪表盘或控制面板涂覆效果非常差,不耐磨,容易掉漆等现象,用化学方法处理虽然能改变涂覆的效果,但同时也改变了仪表盘等基材的性能,使得其强度有所降低。目前很多厂家已经使用等离子汽车清洗机plasma等离子技术来处理这些基材,通过plasma等离子体轰击,材料表面微观层面活性增强,能明显改善涂覆效果。根据实验得知,用等离子清洗机处理不同材料需要选用不同工艺参数,才能达到更好的活化效果。   2、发动机油封片 发动机曲轴油封起防止发动机机油从发动机中渗漏和防止异物进入发动机内部的作用。曲轴油封是发动机的零件之一,在高温下与机油相接触,因此需要采用耐热性和耐油性优良的材料。目前轿车普遍使用聚四氟乙烯材料,随着汽车性能要求的不断提高,越来越多的厂家使用该材料,等离子汽车清洗机其应用前景非常广泛。聚四氟乙烯材料各方面性能优异,耐高温,耐腐蚀、不粘、自润滑、优良的介电性能、很低的摩擦系数,但未经处理的PTFE材料表面活性差,其一端与金属之间的粘接非常困难,产品无法满足金属表面处理质量要求。为了解决这一技术上的难题,就要设法改变PTFE(聚四氟乙烯)与金属表面粘接的表面性能,而不能影响另一面的性能。工业中用溶液处理虽然能在一定程度上提高粘接效果,但是却改变了原有PTFE的性能。经实验证明,用plasma清洗机等离子体轰击需粘接的PTFE表面后,其表面活性明显增强,与金属之间的粘接牢固可靠,满足了工艺的要求,而另一面保持原有的性能,其应用也越来越被广泛认同。   3、点火线圈 随着汽车行业的发展,其各方面性能要求越来越高。点火线圈有提升动力,很明显的效果是提升行驶时的中低速扭距,消除积碳,更好的保护发动机,延长发动机的寿命,减少或消除发动机的共振,燃油充分燃烧,减少排放等诸多功能。要使点火线圈充分发挥它的作用,其质量、可靠度、使用寿命等要求必须达到标准,但是目前的点火线圈生产工艺尚存在很大的问题点火线圈骨架外浇注环氧树脂后,由于骨架在出模具前表面含大量的挥发性油污,导致骨架与环氧树脂结合面粘台不牢靠,成品使用中,点火瞬间温度升高,会在结合面的缝隙中产生气泡,损坏点火线圈,严重的还会发生爆炸现象。 点火线圈骨架使用plasma清洗机等离子处理后,不仅可去除表面的难挥发性油污,而且可大大提高骨架表面活性,即能提高骨架与环氧树脂的粘合强度,避免产生气泡,同时可提高绕线后漆包线与骨架触点的焊接强度。这样一来点火线圈在生产过程中各方面性能得到明显改善,提高了可靠度和使用寿命。
2020-06-10 0

新能源行业

使用等离子体技术,对材料表面进行轰击,可有效去除表面污染物,使工件表面亲水性大大提高。清洗后的水滴夹角小于5度,为下道工序的进行奠定良好基础。
2020-06-10 0
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关于我们

深圳市诚峰智造有限公司是家集研发制造销售等离子清洗机为一体的高新技术企业。公司设立等离子清洗机事业部(主营等离子清洗机、CRF plasma等离子设备、等离子表面处理机);五金冲压部;钣金部;精密五金模具部;涂装部。产品广泛应用于通信;汽车;家电;纺织;航天航空;生物工程;精密制造等行业。公司秉承诚信;拼搏;创新的精神理念,立足中国,面向全球。

新闻中心

2021
07-22

CRF低温等离子设备轻松解决材料表面清洗、(活)化、刻蚀、涂覆等问题

       低温等离子体设备产生的低温等离子体具有独特的物理和化学性能,可以做好表层改性材料,如低温等离子体清洗、刻蚀、接枝聚合、(活)化、聚集和等离子体脱胶。低温等离子体设备的表面层改性材料主要用于聚合物原料和金属表面改性材料。高分子化合物具有分子可设计性,通过高分子化合物的表层作用,可在高分子化合物表层引入不同的基团,如亲水、疏水、润湿、粘结等;引入具有生物活性的分子或生物酶,增强高分子化合物的生物相容性。运用等离子清洗机技术对高分子化合物材质表层做好改性材料,不仅改善了高分子化合物材质在特定环境下的适用性,而且扩大了普通高分子化合物材质的适用范围。         低温等离子体设备表面层活化法指的是物件表面层经低温等离子设备处理后,表面层可增强、改善其粘结度和附着力;等离子清洗器表层腐蚀指的是物件表面层经反应气体有选择地腐蚀,腐蚀后的原料转化为气相,被真空泵排出,处理后的原料微观上比表面积更大,处理后的原料微观上比表面积更大,表面层活化率更高。等离子体清洗表面层,可除去表面层上的脱模剂和助剂,其(活)化过程可保证后续粘接工序和涂膜质量,从而进一步改善复合物的表面层性能。运用低温等离子体设备,依据工序规定对原料表层做好预处理。 低温等离子体设备的应用涉及到一下几个方面 a、金属:去除金属表面油脂、油污等有(机)物和氧化层。 b、汽车制造:用于汽车制造过程中的塑料和涂装预处理 c、纺织产品:用于纺织品亲水性、疏水性和表面改性材料的表面改性,适用于纺织品; d、生物医学:细胞培养皿增强活力、心血管支架、医用注射器、软管和多种原料的亲密性,涂装前处理; e、航天:绝缘材料、电子元件等表面涂层前处理; f、电子:电路板的清洁和刻蚀。无氧化和(活)化处理薄膜、PP等材料,增强焊接性能。 g、半导体工业:晶圆加工和处理去除光刻胶,封装前预处理; h、LED:支架清洁封装前的预处理; i、塑胶橡胶:改善PS、PE、PTFE、TPE、POM、AS、PP等材质的表面活性,有利于粘接、印刷。        以上就是小编描述的CRF低温等离子设备轻松解决材料表面清洗、(活)化、刻蚀、涂覆等问题。
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2021
07-21

大气等离子表面清洗设备-解决材料表面90%涂装不均匀等问题

      良好的材料表面处理前的预处理是保证后续涂装质量的前提。环保水性涂料工艺是许多企业涂装过程中生产的核心环节。大气等离子表面清洗设备的应用,为水性涂装提供了可能。       大气等离子表面清洗设备的预处理还可以去除表面的油污和灰尘,增强材料的表面势能。大气等离子表面清洗设备前清洗工艺的清洁(效)果还可以去除表面油污,等离子体除静电效用能去除表面附着物的灰尘颗粒,而化学反应效用加强了表面势能,这方面的混合效用使等离子前清洗成为1种有效的工具,一般等离子前清洗后不需要额外的清洗工序和底漆处理。大气等离子表面清洗设备的前清洗工艺可与许多不同的后续加(工)工艺相配合,其中典型的是印刷类、粘合、涂覆和双组分注塑。         而在工业应用的各个领域中,经常还可以对塑料、金属、玻璃、纺织品等材料进行粘接、印刷类或涂布处理。对于不同的应用,使两种不同材料可靠有效地结合在一起,对能否实现特定材料的性能具有重要意义。从封装、印刷类、家具家电制造到医(疗)技术、电子工业、纺织、卷材防水涂装、汽车、船舶、航空等行业,等离子技术还可以应用于各个领域。对于大气等离子表面清洗设备工艺是1种普遍有效的加强表面处理效果的子体表面清洗设备处理工艺是加强表面处理(效)果的常用手段。         大气等离子表面清洗设备可清洗、(激)活或涂覆各种材料,包括塑料、金属、玻璃、薄膜或织物等材料。经过这处理,可使塑料具有阻隔性,金属具有抗腐蚀的能力,或玻璃具有抗污垢能力。材料经处理后,涂布或印刷类质量更好,质量更稳定,经久耐用。大气等离子表面清洗设备工艺还可以使用户特定的加(工)工艺成为高(效)、经济、环保的先进加(工)工艺。
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2021
07-20

等离子体生产制造水平与传统生产制造水平较之有哪几个优势

       等离子体生产制造水平与传统生产制造水平较之有哪几个优势,等离子体的功效环节是气固相干化学反应,不消耗水和化学药剂,绿色环保。气体干燥生产全过程不需要降解剂和水,基本不会产生环境问题,节约能源,节约成本,节约能源。联机等离子体清洗机采用自动清洗方式,适用于大型生产线,节省人力,减少劳动成本,大大提高清洗效率,其优势尤其显著。        伴随着工业和消费电子市场的发展,电子设备越来越轻、体积越来越小,这种市场需求在推动着微电子封装小型化的同时,也对封装的可靠性提出了更高的要求,高质量的封装水平能延长其使用时长。在封装过程中,晶片的粘接间隙、低粘接强度、焊球分层或脱落成为制约封装可靠性的重要因素,必须有效去除各种污垢,而不损害其表面特性和电气性能。目前广泛采用的等离子体清洗方法主要有湿法和干法。考虑到环境因素、原材料消耗及未来发展趋势,湿法清洗有较大的局限性,干法清洗明(显)优于湿法清洗。在这些方面,等离子体清洗发展迅速,优势显著。        等离子体是一种电离气体,如电子、离子、原子、分子或自由基的集合。高能电子在清洗过程中,会使气体分子发生高能电子碰撞,使其离解或电离,利用产生的多种微粒轰击被清洁表层或与被清洁表层发生化学反应,有效地去除各种污染物;同时还能加快材料本身的表层性能,如加快表层的润湿性、加快其粘附性等,在许多应用中都有重要意义。机器设备的表层经等离子清洗后,无需在进行干燥生产,因此可以加快整体工艺生产流水线的生产效率;可使设备员不用受到有害溶剂的伤害;等离子体深入到物体内部的微孔和凹陷处清洗,因而不会过分考虑被清洗物体的形状;也能生产各种材料,特别适合不耐高温、不耐溶剂的材料。上述优势,使等离子体清洗水平倍受关注。
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2021
07-22

五个方向阐述-常压等离子清洗技术的发展

       由于常压等离子清洗技术在制备耐磨、耐热、耐腐蚀、绝缘和隔热等各种不同性能的涂层时,具有很多独特的优越性。因此,国外广泛重视等离子喷涂技术的发展。常压等离子清洗技术的发展如下: 1.开发高能常压等离子清洗设备 高能常压等离子清洗设备为喷枪提供了高的输入功率,使工作气体得到(完)全的分解和电离,增加了等离子体的热焓直和三种压缩效应,从而提高了涂层的结合强度和涂层的致密度。 2、发展高焓、高速等离子 在研制高能量等离子喷涂设备的同时,需要对等离子枪的结构进行相应的调整,以满足常压等离子清洗的需要。 3、超细粉末的研制和超细粉末送粉器 超细粉末又称非自流粉末。在5^20微米范围内,超细粉体的出现极大地改善和提高了涂膜质量。然而,这种粉末的流动性很差,所以它被称为非自流粉末。 4、常压等离子清洗工艺过程的自动化 由于常压等离子清洗工艺存在劳动条件差,工作过程中出现高频噪声、紫外线和有害气体等缺陷。因此,必须不断地提高等离子喷涂工艺过程的机械化和自动化程度以及平用数字程序控制系统。 5、常压等离子清洗技术的基础理论科学研究 常压等离子清洗技术的基本理论基础研究包含:表面技术科学研究、常压等离子清洗基本理论基础研究、涂层结合机理与涂层结构科学研究、喷粉颗粒温度与速度测试、涂层性能科学研究等。        综上五个方面阐述常压等离子清洗技术的发展,朋友们可以相互探讨,有需要探讨的问题,欢迎大家积极咨询CRF的小编。
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2021
07-21

plasma设备对材料表层有涂覆、接枝聚合、清洗和蚀刻作用

plasma设备对材料表层有涂覆、接枝聚合、清洗和蚀刻作用: 1、plasma设备的表层涂层 表层涂布的常见功能是在材料表层形成一层保护层。plasma设备的表层涂覆功能在给材料提供保护的同时,也在材料表层形成了一种新的物质,改善了后序粘结和印刷工艺。 2、对plasma设备的表层进行接枝聚合 采用plasma设备技术接枝聚合,将活性自由基引发材料表层有功能单体接枝,再接枝聚合,再接枝聚合,使接枝层与表层分子共价键结合。在低温plasma机械设备功能下,有(机)质气体在固体表层聚合沉积,形成连续、均匀、无针孔的超薄膜,从而获得优异、持久的改性(效)果。 3、plasma设备的等离子(活)化(效)果 许多材料的表层能量很低,在生产过程中很难进行粘合、喷涂、印刷、焊接等。化学物质、液体粘合剂、火焰处理和plasma设备是增强表层能量的两种方法。在这些材料中,化学底漆和液体胶粘剂往往具有高腐蚀性和对环境的危害,火焰处理不稳定,危险性大。plasma设备对环境无损伤、无污染、无废液、符合节能环保标准,加(工)工艺平稳、(安)全,是当前平稳的表层活化处理技术,通过plasma设备处理,使等离子体与材料表层发生化学反应,形成羰基、羧基、羟基等亲水性基团,从而增加表层能量,改变表层化学性质,增强材料的粘接、亲水、附着力等性能。 4、plasma设备的清理功能。 plasma设备是干式清理,通过等离子中活性微粒的“激(活)功能”来祛除工件表层的污渍,在工作过程中除去基体材料中的无机污物或弱键及其常见-CH基有(机)污染和氧化物,改善浸润性,祛除残留物,并且只与材料表层(纳)米级的厚度发生反应,改性仅发生在材料表面层,对内部无侵蚀,不影响基体的固有性能,且处理均匀。一种plasma设备的清理流程几分钟内就能实现,是高效、高速的表层改性机械设备,等离子清洗机在实现清理除污的同时,也可以增强材料本身的表层性能。改善表层润湿性、改善油墨、涂层、镀层的附着力、增强材料的表面能、亲水等(效)果。 5、plasma设备的物理腐蚀功能 利用plasma设备,等离子体中含有大量离子、激发态分子、自由基等多种活性颗粒,功能于样品表层,不仅去除了样品表层原有的污物和杂质,而且还会产生刻蚀功能,对材料表层进行处理,达到凹蚀蚀刻的(效)果,形成许多微坑,增大样品的比表表面。改善材料间的粘接性、持久性及表层润湿性。       一台plasma设备,可实现清理、改性、(活)化、接枝、涂膜、刻蚀等材料表层,增强附着力。切实帮助客户解决材料表层出现的问题,杜绝粘连,增强油墨附着力,涂膜脱漆,焊接不牢固,密封不严等问题。
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2021
07-20

在线真空等离子清洗设备-降本增效,提高设备自动化水平

        在线真空等离子清洗设备有自动化上料装置、自动化洁净装置、上、下推料机构、上下料取料放置平台、反应仓库、设备主体结构及电气控制系统等。本机整体结构简单、使用方便、效率高;整机结构紧凑、性能好、加工处理功效匀称相对稳定、搭配方便、性价比很高。而且可以通过人工或前一道工序自动化完成送料、送料、定位、开应料门、送料、洁净和送料,然后按照工序自动化完成送料、送料和送料。在线真空等离子清洗设备1种自动化加工处理材质的制作想法。相对于传统的等离子体洁净系统,它减少了人工加工处理费用,提高了设备的自动化水平。        在线真空等离子清洗设备算是精度高干式洁净。该装置利用射频源带来的高压交流电场,将氧气、氩、氢等过程气体激发为高活性或高能离子,通过化学反应或物理作用对工件表面进行加工处理,从而在分子水平上去除污染物,提高表面活性。对于不同的污染物,采用不同的洁净工艺,可以达到理想的洁净功效。        在真空等离子清洗设备洁净过程中带来的等离子体与有机污染物、颗粒污染物发生反应或碰撞,通过工作气流和真空泵排出有机物质,以达到净化表面的效果。等离子体洁净是1种剥离洁净,其特点是洁净后对环境无污染。在线等离子体设备在成熟等离子体技术和设备制造的基础上,增加了上下材料、进料等自动化功能。预先洁净IC封装中的引线框,如点胶装片、芯片键合和塑封前洁净,不仅大大提高了粘接和键合强度等性能,而且避免了人为因素对引线框长期接触造成的二次污染,同时也避免了对芯片的损坏。        真空等离子清洗设备洁净广泛应用于粘合、焊接、印刷、涂层等场合,通过等离子体作用于产品表面,提高其表面活性,激活表面性能,显著改善产品,已成为中高档产品表面性能加工处理不可缺少的设备。真空等离子清洗设备是等离子体表面改性或表面清洗技术的一种。它利用等离子体的高能和不稳定性来清洁、激活加工处理材质的表面,从而改变表面的微观结构、化学性质和能量。        真空等离子清洗设备中的等离子体和物体表面的功能可以分为物理功能(离子轰击)和化学功能。理化反应机制是活性颗粒轰击在洁净的表面,使污染物脱离其表面,由真空泵吸出;化学反应的机理是各种活性粒子与污染物发生反应,带来有(机)物质,再由真空泵吸出有(机)物质。等离子体洁净主要是物理反应,没有化学反应,洁净表面没有氧化物,可以保持被洁净物体的化学纯度;缺点是对表面的损伤少,会带来很大的热效应,对被洁净物体表面的各种物质选择性差,腐蚀速度低。利用化学反应等离子体进行洁净,其优点是洁净速度快,选择性好,能更有效地去除有(机)物,缺点是表面会带来氧化物。化学反应的缺点比物理反应更难克服。然而,两种反应机制对表面微观形态的影响存在显著差异。通过物理作用,使表面在分子水平上变得粗糙,从而改变表面粘结的性质。        另外,物理和化学反应在真空等离子清洗设备清洁的表面反应机理中起着重要作用,即反应离子腐蚀和离子束腐蚀。两种清洁相互促进。离子轰击削弱被洁净表面的化学键,形成原子态,容易吸收反应剂。离子碰撞加热被洁净物体,使其更容易发生反应,具有良好的选择性、洁净率、匀称性和方向性。
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