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真空式等离子处理系统
Vacuum plasma processing system

专为半导体IC/封装领域表面清洗与改性设计，可用于处理各种电子材料， 包括塑料、金属、玻璃等


半导体IC领域的表面清洗与改性
印刷线路板行业的表面清洗、去钻污、活化
硅胶、塑胶、聚合体领域的表面粗化、刻蚀、活化
汽车电子行业的表面改性与清洁
航空工业领域的表面清洗
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全自动On-Line式AP等离子处理系统
Fully automatic On-Line AP plasma processing system

AP宽幅等离子清洗机，适用于FPC&PCB表面处理，复合型材料、玻璃、ITO、面板等行业领域的表面处理。


处理温度可≤35℃以下
灵活On-Line安装方式
电子和离子的能量可达10eV以上
材料批处理的效率可高于低气压辉光放电装置效率10倍以上
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喷射型AP等离子处理系统
Jet type AP plasma processing system

专为安装于产线上处理而设计，适用于触摸屏、玻璃、金属、塑胶、纺织品、再生或复合材料的高效清洗、活化和涂层。


消费类电子的表面处理和改性
LCD面板表面清洗和改性
FPC&PCB表面清洗和活化
国防工业的航空航天电连接器表面清洗
通用行业的丝网印刷、转移印刷前处理
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随着经济的发展，消费者对汽车的性能要求越来越高，如汽车的外观、操作舒适性可靠性、使用耐久性等要求也不断提高。为了满足消费者的要求，各汽车厂家在生产汽车时更注重细节方面的优化改进

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对芯片与封装基板的表面进行等离子体处理能有效增加其表面活性，极大的改善粘接环氧树脂在其表面的流动性，提高芯片和封装基板的粘结浸润性，减少芯片与基板的分层，改善热传导能力，提高IC封装的可靠性稳定性，增加产品的寿命。

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如：介入治疗用的心脏冠状动脉支架，经等离子体清洗之后还要用等离子体涂敷上抗血凝和抗表皮增生材料。

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如：1、锂电池隔膜行业通过等离子处理改善了材料表面特性，大大提高了电池性能；2、航空航天连接器通过等离子处理改善了材料表面特性，大大提高了电池性能；增强其表面活性，使得粘接效果明显改善。

重工业

重工业

应用于电池隔膜处理，提高吸碱率及亲水性。电池隔膜均为高分子材料，极性弱。分子难以透过，使用等离子处理后，改善了材料表面特性，大大提高了电池性能。 
2020-06-10 52
医疗行业

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导尿管给需要留置导尿的患者带来了福音，在临床上的应用越来越广，但随着其应用的增多，导尿管拔除困难的情况也越来越常见。特别是长期留置的导尿管，有时由于橡胶的老化会造成气囊管腔的阻塞，强行拔除时可能会引起严重的并发症。为了防止硅橡胶与人体接触表面的老化，需要对其表面进行氧等离子处理。
2020-06-10 0
半导体芯片行业

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芯片与封装基板的粘接，往往是两种不同性质的材料，材料表面通常呈现为疏水性和隋性特征，其表面粘接性能较差，粘接过程中界面容易产 生空隙，给密封封装后的芯片带来很大的隐患，对芯片与封装基板的表面进行等离子体处理能有效增加其表面活性，极大的改善粘接环氧树脂在其表面的流动性，提高芯片和封装基板的粘结浸润性，减少芯片与基板的分层，改善热传导能力，提高IC封装的可靠性稳定性，增加产品的寿命。
2020-06-10 0
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随着经济的发展，消费者对汽车的性能要求越来越高，如汽车的外观、操作舒适性可靠性、使用耐久性等要求也不断提高。为了满足消费者的要求，各汽车厂家在生产汽车时更注重细节方面的优化改进，如进行
2020-06-10 0
新能源行业

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使用等离子体技术，对材料表面进行轰击，可有效去除表面污染物，使工件表面亲水性大大提高。清洗后的水滴夹角小于5度，为下道工序的进行奠定良好基础。
2020-06-10 0
消费类电子行业

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用于清洗Wafer，去除表面光刻胶。具有高度的均匀性，稳定的刻蚀速率。
2020-07-28 0
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关于我们

深圳市诚峰智造有限公司是一家集研发；制造；销售为一体的高新技术企业。公司设立等离子事业部(主营等离子清洗机、CRF plasma等离子设备、等离子表面处理机)；五金冲压部；钣金部；精密五金模具部；涂装部。产品广泛应用于通信；汽车；家电；纺织；航天航空；生物工程；精密制造等行业。公司秉承诚信；拼搏；创新的精神理念，立足中国，面向全球。

新闻中心

公司动态
业界动态
2020
10-27

等离子体薄膜沉积技术

等离子体聚合介质薄膜可以保护电子元件，采用等离子体沉积导电膜技术保护电子线路和设备不受静电荷积累造成的损坏，等离子体沉积薄膜技术还可以制作电容器元件。可广泛应用于电子工业，化学工业，光学等领域。           等离子体积硅化合物，使用SiH4+N2O(或Si(OC2H4)+O2)制造SiOxHy。空气压力1~5托(1托≈133帕)，功率为13.5MHz。SiH4+SiH3+N2用于氮化硅沉，气温为300℃，沉积速率为180埃/分。非晶碳化硅膜由硅烷加含碳的共反应剂得SixC1+x：H，x 是Si/Si+C比例。硬度超过2500千克/毫米。           利用等离子体在多孔基片上沉积一层薄聚合膜，制成选择性渗透膜和反渗透膜，可用于分离混合物中的气体，分离离子和水。还可结合超薄膜层，以适应不同的选择性，如分子尺寸、可溶性、离子亲合性、扩散性等。采用常规的方法，在碳酸盐-硅共聚物基底上沉积0.5毫米薄膜，其氢与甲烷的渗透比为0.85，甲烷的渗透率比氢的高。当等离子体在基片上沉积苯甲氰单体时，其比值增加到33，分离效率大大提高。反渗透膜可用于海水的脱盐处理，当水流量低于某一阈值时，排盐效果较好。其聚合膜具有较好的抗渗透性能，如烯烃族、杂芳香族和芳香胺等。           采用等离子沉积膜技术制备的薄膜可用于光学元件，如消反射膜、防潮膜、抗磨损膜等。利用等离子体可在集成光学中根据要求的折射率沉积上稳定的薄膜，使其与光路中的各个元件连接。这类薄膜每厘米的光损失为0.04分贝。
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2020
10-26

等离子表面处理机在塑料橡胶行业的应用

由于聚丙烯、PTFE等塑胶材料无极性，在工业应用中，有些塑胶制品表面接合时会出现粘接困难，在未经等离子表面处理的情况下，印刷、粘合、涂覆等过程效果非常差，甚至无法进行。         有些工艺在生产过程中使用了一些化学剂对这些橡塑表面进行处理，这样可以改变胶粘效果，但是这种方法很难掌握，化学剂本身就有毒性，操作很繁琐，成本也很高，而且化学剂对橡塑材料原有的优良性能有影响。采用等离子表面处理机技术对这些材料进行表面处理，使这些材料在高速高能等离子体的轰击下，发挥其结构表面的作用，同时在材料表面形成一层活性层，使橡胶、塑料能进行印刷、粘合、涂层等操作。   等离子表面处理机用于塑料的表面处理：         通过研究发现，大多数塑料的表面张力都很低，如聚乙烯(PE)和聚丙烯(PP)的表面张力为31达因，聚酯(PET)和聚氯乙烯(PVC)的表面张力为39达因，尼龙(PA)为41达因。为了满足印刷和粘接的要求，必须使其表面张力依次达到38、38、52、48、56甚至更高的达因值。直到等离表面处理机发明之前，许多塑料工艺设计都倾向于选用材料，哪些材料能够达到喷涂或粘合等工艺的要求，才优先采用这种材料，由于材料昂贵，制造成本一直很高。自1980年代以来，随着等离子表面处理机的广泛应用，制造商开始将目光投向更多的塑料品种，PP、PC、ABS、SMC各种弹性体和各种复合材料的用途也被充分发挥出来。等离子表面处理机既解决了同一材料部件之间的相互粘接，又解决了不同材料部件之间的相互粘接。在新工艺中，传统的表面处理(例如打磨机打磨，打磨效果有限)和环保水性涂料处理(有些处理后仅有40mN/m左右，材料根本无法完全润湿)都受到了冲击。氟处理虽有良好的效果，但在使用过程中会产生大量的有害气体，往往使生产厂家的废气处理成本大幅增加。等离子表面处理机是一种既经济又环保的表面处理工艺，其处理后的材料表面可以轻松达到65因以上的表面张力，满足了许多高标准的工艺要求。它是利用电磁放电产生等离子体，喷射到材料表面，从而大大提高了塑料制品的表面能量。   等离子表面处理机用于橡胶的表面处理：         橡胶和塑料一样是无极性的，不经表面处理的状态下，其印花、粘合、涂布等作用很差，甚至不能进行。在某些橡胶的表面处理过程中，使用某些化学剂，虽然可以提高粘接效果，但这种方法操作复杂，化学剂本身就有毒性，使用时要十分小心，而且购买成本较高，而且化学剂还会破坏橡胶材料的部分优良性能。采用等离子表面处理机对橡胶进行表面处理，使这些材料在高速高能等离子体的轰击下，很大限度地发挥其结构表面的作用，同时在材料表面形成一层活化层，使橡胶能进行印刷、粘合、涂层等操作。采用等离子技术处理橡胶表面，操作简单，处理前后无有害物质产生，处理效果好，生产效率高，运行费用低。
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2020
10-23

硅橡胶等离子处理机表面处理

聚甲基丙烯酸甲酯在上世纪40年代开始用于隐形眼镜材料。因为PMMA具有高折射率、适宜的硬度、良好的生物亲和性，至今仍被广泛应用。但PMMA亲水性较差，这会造成长期的眼翳闭合而引起佩戴者不适。同时，其氧气通透性也较差，严重时可导致并发症。如能克服PMMA的上述缺点，则可大大提高其使用效率。采用乙炔、氮气和水的等离子体聚合物镀在PMMA透镜表面，可提高材料的亲水性，减少角膜上皮细胞粘连。有机硅氧烷加入到聚合物的夹层中，可改善材料的透气性，但由于硅氧烷固有的疏水性质，会使其保湿性下降。可以采用真空等离子清洗机产生辉光放电的方法处理含硅聚合物表面疏水问题。PMMA通过真空等离子体清洗机与聚硅氧烷结合物进行表面处理，可降低表面碳含量，增加PMMA的含氧量，改善其保湿性。         由硅橡胶制成的隐形眼镜叫做“软”透镜。硅橡胶具有良好的透气性能、质地柔软、机械弹性好、耐用等特点。其缺点是粘度太大、疏水、液体易渗透。在硅橡胶表面镀上一层甲烷膜，可改善硅橡胶的保湿性，降低粘性，降低液体的渗透性，又能保持其透气性。         PMMA是一种常用于眼内晶体移植的材料，但其与角膜上皮细胞的接触可导致角膜上皮细胞的损伤。通过真空等离子体清洗机的接枝法或辐照处理法，可使亲水性单体，如异丁烯酸羟乙酯或N-乙烯基吡咯烷酮沉积到PMMA表面。用家兔角膜和透镜间的静态“接触试验”发现，未经等离子体处理的PMMA表面可造成10~30%的细胞损伤，而经处理的PMMA/HEMA复合表面可造成10%左右的细胞损伤，而PMMA/NVP复合表面可造成10%以下的细胞损伤。在C3F8、HEMA和NVP三种薄膜上的等离子体沉积均能显著降低角膜细胞的损伤。此外，NVP膜在PMMA表面的粘附能力明显低于PMMA。         等离子体处理通常是一种引起表面分子结构变化或表面原子进行置代的等离子体反应。等离子体处理即使在氧、氮等不活泼的环境中也能在低温条件下产生高活性基团。这一过程中，等离子体还释放出高能紫外光，并产生快速运动的离子和电子来打断聚合物的键合，并产生表面化学反应所需的能量。仅在材料表面有几个原子层参与该化学过程时，聚合物的本体属性才能保持不变，此外，由于等离子体处理时温度较低，避免了热损伤和热变形的可能。选择适当的反应气体和工艺参数，可促进某些特定的反应，并形成特殊的聚合物附着物和结构。  
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2020
10-28

等离子清洗机功能和用途

正如它的名字所示，等离子清洗机是一种清洁设备，如果仅仅从字面意义上理解等离子清洗机的功能会有些片面。因为等离子清洗机不仅能清洗表面清洁的作用，还有表面改性活化等一系列用途。谈到等离子清洗机的作用，不能不说魔力十足的等离子体，毫不夸张地说，等离子清洗机的作用可以说是等离子体的作用。           若要清楚地理解等离子清洗机的功能和用途，必须从理解等离子体开始。那么，等离子体是什么？等离子体是一种物质的存在状态，我们知道的状态通常以固体、液体、气体三种状态存在，但在某些特殊情况下，也可以是第四种状态存在，例如太阳表面的物质，以及地球大气中的电离层物质。这些物质处于的这种状态叫做等离子体态，也就是物质的第四态。           以下物质存在于等离子体中：高速运动的电子、受激发状态的中性原子、分子、原子团(自由基)；离子化的原子、分子、分子解离反应产生的紫外线；未反应的分子、原子等，但物质在整体上仍然是电中性的。           等离子体清洗机理，主要依靠等离子体中活性颗粒的“活化作用”来达到清除物体表面污渍的目的。从机理上讲，等离子体清洗一般包括下列过程：将无机气体激发成等离子态；将气相物质吸附到固体表面；将吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子；将产物分子解析成气相；使反应残留物脱离表面。           等离子清洗机的一般功能用途如下：         一、等离子体表面活化/清洗；         二、等离子体处理后粘结能力提高；         三、等离子体蚀刻/活化；         四、等离子体去胶；         五、等离子体涂覆(亲水、疏水)；         六、增强邦定性；         七、等离子体涂覆；         八、等离子体表面改性等。
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2020
10-26

玻璃等离子表面处理机

玻璃作为一种材料已经有几个世纪的历史了。由于玻璃具有化学惰性，受环境影响性质稳定，用常规的清洗方法对玻璃基片进行清洗干燥处理，难以彻底清除吸附在表面的异物。又由于运输、搬运过程中其表面会暴露在空气中，难免会吸附上环境气体、水汽和微粒，如果不加以处理，就会导致膜层与基片之间的结合力不足，产生针孔和颗粒。玻璃材料经等离子表面处理机清洗处理后，可立即进入下一工序。因此，玻璃等离子体表面处理是一个稳定而有效的工艺过程。   采用等离子表面处理机处理技术对玻璃改性，有设备简单，原材料消耗低，成本低，产品附加值高等特点，优化了玻璃镀膜、粘合、去膜工艺，低温等离子体表面处理机改性材料已广泛应用于电容、电阻式手机触摸屏等某些需要精加工的玻璃。玻璃经等离子处理后可达到点72达因甚至更高，水滴角度可降至10度以下。它解决了玻璃粘合困难，印刷，电镀等难题。   在等离子体中，由于玻璃基片受到等离子体中荷能粒(电)子的轰击，首先对基片表面吸附的环境气体、水汽、污物等进行轰击，使其活化，使表面清洁，提高表面能量，当沉积时薄膜原子或分子浸入基片表面，增加范德华力。第二种是玻璃基片表面受到荷能粒(电)子的冲击，在这种冲击下，在玻璃基片表面会形成许多凹坑、孔隙，在沉积过程中，薄膜中的原子或分子进入这些凹槽、孔隙，从而产生机械锁合力。另外，衬底表面的粗化，使得实际的表面积增加，这对增加范德华力(分子间作用力)、扩散粘接力和静电力都是有好处的，从而增加了总粘接力。   对玻璃进行等离子表面处理后，对基片表面进行清洁活化，表面能得到改善，不仅能有效去除吸附在基片上的环境气体分子、水汽和污染物，基片表面会形成清洁活化的微观粗糙面，而且避免了二次污染。
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2020
10-24

等离子体在航空工业的应用

伴随着航空工业的发展，精细化生产的意识逐步提高，需要开展先进等离子体清洗技术的研究工作来取代传统的溶剂清洗工艺，从而进一步保证产品的清洗效果，间接地提高产品的寿命和外观质量，同时减少或避免溶剂挥发对人体的危害。通过对等离子体清洗原理的分析，该清洗方法可以推广到航空产品涂层前处理、胶接类产品表面清理和复合材料制造等方便。   1、铝合金蒙皮口盖的处理：         航空航天制造业的蒙皮口盖采用铝合金制造，为提高其密封性，口盖压合部位采用NBR硫化工艺制造胶圈。但是橡胶硫化后经常会溢出过多的胶料，污染涂层表面，导致涂层附着力降低，涂层被涂后容易脱落。传统的清洁方法不能彻底清除胶料所产生的污染，从而影响口盖的正常使用。涂装之前使用等离子体清洗，涂层附着力明显提高，与常规清洗相比，更符合航空涂装的标准要求。   2、航天电气连接：         航空航天领域对电气连接器的要求非常严格，未进行表面处理的绝缘体与封线体之间的粘接效果较差，即使采用特殊配方的胶粘剂，其粘接效果也不能满足要求；此外，如果绝缘体与封线体之间的粘接不紧密，可能会出现漏电现象，从而导致电气连接器的耐压性能降低。这严重影响了国内电气连接器的发展。现在国内专门生产航空电连接器的厂家正在逐步推广应用等离子体清洗技术来清洗连接件表面，通过等离子体清洗，不仅可以去除连接件表面的油污，还可以增强表面的活性，使连接件涂胶很均匀，粘结效果明显提高。经过国内几家大厂使用，等离子清洗处理过的电连接器，其抗拉力成倍增大，耐压值有明显提高。   3、复合材料生产工艺：         高性能的连续纤维(如碳纤维、芳纶纤维、PBO纤维等)热固性强，同时还具有高质量和高稳定性的热塑性树脂基复合材料，在航空、航天、军事等领域得到了广泛的应用，成为不可或缺的材料。但这类增强纤维普遍存在表面光滑，化学活性低，纤维与树脂基体之间不易建立物理锚合和化学键合，界面结合力差等缺点，影响了复合材料的综合性能。另外，商品化纤维材料表面还会有有机涂层和微尘等污染物，这些污染物主要来自纤维的制备、上浆、输送和储存过程，这些都会影响复合材料的界面粘接性能。在增强树脂基体制备复合材料前，纤维材料需通过等离子体等处理手段对其表面进行清洗刻蚀，在去除有机涂层和污染物的同时，将极性或活性基团引入到纤维表面，并形成一些活性基团，从而进一步引发接枝、交联等反应，从而通过清洗、刻蚀、活化、接枝、交联等综合作用提高纤维表面的物理化学状态，从而达到增强纤维与树脂基体的相互作用的目的。   4、清理芳纶零件表面：         芳纶纤维材料密度低、强度高、韧性好、耐高温、易于加工成型，在航空工业中有着非常广泛的应用。在一些应用场合下，芳纶成型后仍需与其它零件粘结，但它材料表面光滑且呈化学惰性，其成型零件表面不易涂胶。为了获得良好的粘结效果，需要对其进行表面处理，目前主要采用的表面活化处理方法是等离子体改性技术。经处理的凯夫拉纤维表面活性增强，粘接效果得到明显改善，随着等离子体处理工艺参数的不断优化，粘接效果将进一步提高，应用范围将越来越广泛。           此外，芳纶纤维复合材料制作完成后，其表面必须涂环氧清漆和底漆封闭，以防止材料由于吸潮而导致失效。在复合材料生产过程中，需要对其表面进行脱模处理，才能实现制件与模具的平稳分离，但加工后脱模剂仍会残留在制件表面，不能通过传统的清洗方法进行有效的去除，造成涂层附着力差，涂层极易脱落的现象，影响制件的正常使用。因而可以考虑采用等离子清洗技术，经济有效地去除脱模剂中的污染物。   5、其他方面的应用：         在航空制造业中，还可以采用等离子清洗技术进行以下处理：         对门窗密封件进行处理，以提高密封性能；         对仪表板进行涂装前处理，以防止掉漆等现象；         对控制面板进行预涂装处理，以提高粘接强度；         对精密零件进行清洗，以清除加工后表面残留的油类污染物。
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