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全自动On-Line式等离子处理系统

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真空等离子处理系统

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推荐产品

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消费类电子行业

大部分产品的表面均存在有机或无机的污染物,由此在后工序加工时会影响产品的品质,特别是对于需要粘接、印刷、贴合等工序时。此时需要等离子进行表面清洁处理。

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新能源行业

如:1、玻璃基板去除表面污染物,使工件表面亲水性大大提高;2、ITO阳极表面改性,改善器件的光伏性能;3、通过采用等离子体技术,可活化硅片表面,大大提高其表面附着力。

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汽车制造业

随着经济的发展,消费者对汽车的性能要求越来越高,如汽车的外观、操作舒适性可靠性、使用耐久性等要求也不断提高。为了满足消费者的要求,各汽车厂家在生产汽车时更注重细节方面的优化改进

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半导体芯片行业

对芯片与封装基板的表面进行等离子体处理能有效增加其表面活性,极大的改善粘接环氧树脂在其表面的流动性,提高芯片和封装基板的粘结浸润性,减少芯片与基板的分层,改善热传导能力,提高IC封装的可靠性稳定性,增加产品的寿命。

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医疗行业

如:介入治疗用的心脏冠状动脉支架,经等离子体清洗之后还要用等离子体涂敷上抗血凝和抗表皮增生材料。

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重工业领域

如:1、锂电池隔膜行业通过等离子处理改善了材料表面特性,大大提高了电池性能;2、航空航天连接器通过等离子处理改善了材料表面特性,大大提高了电池性能;增强其表面活性,使得粘接效果明显改善。

重工业

应用于电池隔膜处理,提高吸碱率及亲水性。电池隔膜均为高分子材料,极性弱。分子难以透过,使用等离子处理后,改善了材料表面特性,大大提高了电池性能。 
2020-06-10 52

医疗行业

导尿管给需要留置导尿的患者带来了福音,在临床上的应用越来越广,但随着其应用的增多,导尿管拔除困难的情况也越来越常见。特别是长期留置的导尿管,有时由于橡胶的老化会造成气囊管腔的阻塞,强行拔除时可能会引起严重的并发症。为了防止硅橡胶与人体接触表面的老化,需要对其表面进行氧等离子处理。用扫描电子显微镜(SEM)、红外光谱(FTIR-ATR)和表面接触角研究天然胶乳导尿管经氧等离子体处理前后的表面结构、性能和化学成分的变化,结果表明用低温等离子设备公司氧等离子体处理后的导尿管表面变滑,表面接触角由84度减少至67度,表面无有害基团产生,说明氧等离子体处理是一种有效的等离子表面处理方法。 另外,可用大型等离子清洗机或者小型的处理硅橡胶以增加其表面活性,然后在表面涂度一层不易老化的疏水材料,其效果也非常好。    2.静脉输液器 输液器末端输液针在使用过程中,拔出时针座与针管之间会出现脱离现象,一旦脱离,血液会随针管流出,如不及时正确处理,对病人会造成严重威胁。为了确保这类事故的发生,对针座进行表面处理是非常必要的。针座孔非常小,普通方法难处理,而等离子体是一种离子状态的气体,对微小的孔也可以有效处理。应用大型等离子清洗机等离子对其进行表面活化处理,可改善表面活性,提高其与针管的粘接强度,确保它们之间不会脱离。下图为针座在等离子清洗机中进行等离子表面清洗活化处理。 3.生物培养板 诚峰智造低温等离子设备公司清洗设备可用于改善培养板表面亲水性,接枝特定化学基团,并进行表面杀菌。  
2020-06-10 0

半导体芯片行业

芯片或者硅片与封装基板的粘接,往往是两种不同性质的材料,材料表面通常呈现为疏水性和隋性特征,其表面粘接性能较差,粘接过程中界面容易产 生空隙,给密封封装后的芯片或硅片带来很大的隐患,硅片清洗机工业等离子清洗机可以对芯片与封装基板的表面进行等离子体处理能有效增加其表面活性,等离子处理机极大的改善粘接环氧树脂在其表面的流动性,提高芯片和封装基板的粘结浸润性,减少芯片与基板的分层,改善热传导能力,提高IC封装的可靠性稳定性,增加产品的寿命。 引线框架的表面处理 微电子封装领域采用引线框架的塑封形式,仍占到80%,其主要采用导热性、导电性、加工性能良好的铜合金材料作为引线框架铜的氧化物与其它一些有机污染物会造成密封模塑与铜引线框架的分层,造成封装后密封性能变差与慢性渗气现象,同时也会影响芯片的粘接和引线键合质量 ,确保引线框架的洁净是保证封装可靠性与良率的关键,经等工业离子处理机清洗后引线框架表面净化和活化的效果成品良率比传统的湿法清洗会极大的提高,并且免除了废水排放,降低化学药水采购成本。 优化引线键合(打线) 集成电路引线键台的质量对微电子器件的可靠陛有决定性影响,键合区必须无污染物并具有良好的键合特性。污染物的存在,如氯化物、有机残渣等都会严重削弱引线键台的拉力值。传统的工业清洗机湿法清洗对键合区的污染物去除不彻底或者不能去除,而采用等离子体厂家设备清洗能有效去除键合区的表面沾污并使其表面活化,能明显提高引线的键合拉力,极大的提高封装器件的可靠性。
2020-06-10 0

汽车制造业

随着经济的发展,消费者对汽车的性能要求越来越高,如汽车的外观、操作舒适性可靠性、使用耐久性等要求也不断提高。为了满足消费者的要求,各汽车厂家在生产汽车时更注重细节方面的优化改进,如进行 (1)仪表板在柔性聚氨酯(PU)涂覆前处理 (2)控制面板在粘台前处理 (3)内部PP零件植缛前处理 (4)汽车门窗密封件的处理 以前未经任何处理仪表盘或控制面板涂覆效果非常差,不耐磨,容易掉漆等现象,用化学方法处理虽然能改变涂覆的效果,但同时也改变了仪表盘等基材的性能,使得其强度有所降低。目前很多厂家已经使用等离子汽车清洗机plasma等离子技术来处理这些基材,通过plasma等离子体轰击,材料表面微观层面活性增强,能明显改善涂覆效果。根据实验得知,用等离子清洗机处理不同材料需要选用不同工艺参数,才能达到更好的活化效果。   2、发动机油封片 发动机曲轴油封起防止发动机机油从发动机中渗漏和防止异物进入发动机内部的作用。曲轴油封是发动机的零件之一,在高温下与机油相接触,因此需要采用耐热性和耐油性优良的材料。目前轿车普遍使用聚四氟乙烯材料,随着汽车性能要求的不断提高,越来越多的厂家使用该材料,等离子汽车清洗机其应用前景非常广泛。聚四氟乙烯材料各方面性能优异,耐高温,耐腐蚀、不粘、自润滑、优良的介电性能、很低的摩擦系数,但未经处理的PTFE材料表面活性差,其一端与金属之间的粘接非常困难,产品无法满足金属表面处理质量要求。为了解决这一技术上的难题,就要设法改变PTFE(聚四氟乙烯)与金属表面粘接的表面性能,而不能影响另一面的性能。工业中用溶液处理虽然能在一定程度上提高粘接效果,但是却改变了原有PTFE的性能。经实验证明,用plasma清洗机等离子体轰击需粘接的PTFE表面后,其表面活性明显增强,与金属之间的粘接牢固可靠,满足了工艺的要求,而另一面保持原有的性能,其应用也越来越被广泛认同。   3、点火线圈 随着汽车行业的发展,其各方面性能要求越来越高。点火线圈有提升动力,很明显的效果是提升行驶时的中低速扭距,消除积碳,更好的保护发动机,延长发动机的寿命,减少或消除发动机的共振,燃油充分燃烧,减少排放等诸多功能。要使点火线圈充分发挥它的作用,其质量、可靠度、使用寿命等要求必须达到标准,但是目前的点火线圈生产工艺尚存在很大的问题点火线圈骨架外浇注环氧树脂后,由于骨架在出模具前表面含大量的挥发性油污,导致骨架与环氧树脂结合面粘台不牢靠,成品使用中,点火瞬间温度升高,会在结合面的缝隙中产生气泡,损坏点火线圈,严重的还会发生爆炸现象。 点火线圈骨架使用plasma清洗机等离子处理后,不仅可去除表面的难挥发性油污,而且可大大提高骨架表面活性,即能提高骨架与环氧树脂的粘合强度,避免产生气泡,同时可提高绕线后漆包线与骨架触点的焊接强度。这样一来点火线圈在生产过程中各方面性能得到明显改善,提高了可靠度和使用寿命。
2020-06-10 0

新能源行业

使用等离子体技术,对材料表面进行轰击,可有效去除表面污染物,使工件表面亲水性大大提高。清洗后的水滴夹角小于5度,为下道工序的进行奠定良好基础。
2020-06-10 0

消费类电子行业

1、plasma等离子清洗机可用于清洗Wafer,去除表面光刻胶。具有高度的均匀性,稳定的刻蚀速率。  2、手机的种类繁多,外观更是多彩多样,其颜色鲜艳,Logo醒目,但使用手机的人都知道,手机在使用一段时间后,其外壳容易掉漆,甚至Logo也变得模糊不清,严重影响手机的外观形象。知名手机品牌厂家为了寻找解决这些问题的方法,曾使用化学药剂对手机塑料外壳进行处理,其印刷粘接的效果有所改善,但这是降低手机外壳的硬度为代价,为了寻求更好的解决方案,等离子技术脱颖而出。等离子表面处理技术不仅可以清洗外壳在注塑时留下的油污,等离子处理机能活化塑料外壳表面,增强其印刷、涂覆等粘接效果,使得外壳上涂层与基体之间非常牢固地连接,涂覆效果非常 均匀,外观更加亮丽,并且耐磨性大大增强,长时间使用也不会出现磨漆现象。     3、运用等离子进行摄像头玻璃丶CCD元器件的表面清晰,能有效去除白点丶红点等污染物.并且在镜座镜框上进行了应用,活化镜框材料,大大提高点胶后的附着力,运用等离子表面处理机厂家设备对手机壳进行活化处理,用于烤漆前的表面活化及消除静电,可以提高烤漆良率.还应用于烤漆后手机壳的LOGO印刷前处理,提高印刷质量.   
2020-07-28 0
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关于我们

深圳市诚峰智造有限公司是家集研发制造销售等离子清洗机为一体的高新技术企业。公司设立等离子清洗机事业部(主营等离子清洗机、CRF plasma等离子设备、等离子表面处理机);五金冲压部;钣金部;精密五金模具部;涂装部。产品广泛应用于通信;汽车;家电;纺织;航天航空;生物工程;精密制造等行业。公司秉承诚信;拼搏;创新的精神理念,立足中国,面向全球。

新闻中心

2021
06-15

等离子表面清洗机提(升)材料表面性能改进制造质量

        去除孔内胶渣:孔内去胶渣是目前等离子技术在PCB领域应用较多的工艺。孔内胶渣是指在电路板钻孔工序(机器钻孔或镭射钻孔)中因高温造成离分子材料熔融在孔壁金属面的胶渣,而并非机械钻孔加工造成的毛边、毛刺,必须在镀金之前去除。此胶渣也是以碳氧化合物为主,能够与等离子中的离子或自由基很容易发生反应,生成挥发性的碳氢氧化合物,然后由抽真空系统带出。          航空制造业应用:飞机涂层的预处理,现代先进战机具备隐身是一个不可缺少的功能。然而在实现隐身的效(果)时,必须在飞机表面涂上一层可以吸收雷达波的特殊材料,在涂层之前用等离子体对飞机外壳表面进行预处理,使涂层结合力更好,不容易脱落,增加飞行时间,减少维护成本。          在塑料行业应用:利用等离子技术对材料进行表面处理,在高速高能量的等离子体的轰击下,这些材料结构表面得以活(化),在材料表面形成一个活性层,这样塑胶、塑料就能够进行印刷、粘合、涂覆等操作。应用等离子技术对橡胶表面处理,操作简单,处理前后没有产生害物质,处理效(果)好,生产效率高,运行成本低。           汽车行业其他方面的应用:随着经济的发展,消费者对汽车的性能要求越来越高,如汽车的外观、操作舒适性、可靠性、使用耐久性等要求也不断提高。为了满足消费者的要求,各汽车厂家在生产汽车时更注重细节方面的优化改进,如进行仪表板在柔性聚氨酯(PU)涂覆前处理、控制面板在粘合前处理、内部PP零件植入前处理、汽车门窗密封件处理等。 
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2021
06-13

等离子表面处理PE管材可轻松达到52达因值表面张力得到满足

         等离子表面处理机管材领域:PPR和PE作为饮用水管的材料,特别是PE在其卫生安(全)上,应用更广。然而PE作为含氟类塑料,表面能低和润湿能力差,分子链呈非极性。应用等离子预处理可以使PE材料表面(活)化,使得管材印字牢固可靠。PPR管材应用PPR管材等离子表面处理机,PE管材应用PE管材等离子表面处理机。等离子表面处理是一种既经济又环保的表面处理工艺,并且经其处理后的材料表面可轻松达到52达因以上的表面张力,满足很多高标准的工艺要求。该设备利用电磁放电产生等离子体,均匀的喷向材料表面,使塑料制品的表面能得到大幅度提高。等离子表面处理后,管材表面材料得以(活)化,印字喷码牢固可靠          管道材料的喷码前处理是可以用等离子表面处理机的,等离子表面处理机的处理特性以及处理范围就很适合线缆的处理。比如:线缆丝印前处理,金属丝包胶性增强处理都是可以用等离子表面处理机进行预处理的。等离子体在适宜的工艺条件下处理PE、PP、PVF2、LDPE等材料,材料的表面形态发生的显著变化,引入了多种含氧基团,使表面由非极性、难粘性转为有一定极性、易粘性和亲水性,有利于粘结、涂覆和印刷。具有工艺简单、操作方便、加工速度快、处理效(果)好、环境污染小、节能等优点。等离子体技术在塑料元件的改性工艺中,提高了塑料的润湿率。
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2021
06-12

对于等离子设备的哪些优点你了解多少呢

       等离子体清洗的机理,主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。就反应机理来看,等离子体清洗通常包括以下过程:无机气体被激发为等离子态;气相物质被吸附在固体表面;被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子;产物分子解析形成气相;反应残余物脱离表面。 等离子体清洗技术的最大特点是不分处理对象的基材类型,均可进行处理,对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理,并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。        等离子体分为高温等离子体和低温等离子体。高温等离子体是指所有组分在2000-4000 K 时达到温度平衡。在这样高的温度下,高分子材料本身会受到严重损伤。低温等离子体体系中,电子温度只高于离子和中子的温度,重粒子温度不高,而且低温等离子体只作用于材料表面的若干纳米深度,对于高分子材料基质不会造成损伤,因此适合于材料表面改性。低温等离子体处理会在高分子材料表面大量引入一些官能团,如利用各种非聚合气体(O2、H2、Ar)在材料表面形成-OH等基团,改变高分子材料表面性质。        低温等离子体表面处理机是在利用外加电压的条件下将惰性气体(N2、O2、CO 等)分子击穿,并将-OH、-NH2等基团、 离子及原子引入材料表面,或者在材料表面上直接产生自由基的技术方法。新引入和新产生的自由基也可以通过化学键合方式与材料表面的一些分子相连接上,使得高分子材料获得新的表面性能。低温等离子体表面处理方法通常用于提高材料表面亲水性与生物相容性等等。
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2021
06-15

你了解的等离子清洗机有以下特点吗?

       辉光放电等离子清洗机的工作原理:等离子清洗机在密封容器中设置两个电极形成电场,用真空泵实现一定的真空度,随着气体变稀薄,分子之间的间距和分子或离子的自由运动的距离也越来越长,而后通过电场作用发生碰撞而形成等离子体。离子是没有方向性及规则性的,发生反应时离子不断抨击物体的表面使之产生相互碰撞,不同气体发出辉光颜色不同,是因为发生了不同的物理反应。利用等离子处理会发出辉光,又称之为辉光放电处理。        辉光放电在两极电场的作用下,电子和正离子分别向阳极、阴极运动,并在此过程中堆积在两极附近形成空间电荷区 。又因为正离子的漂移速度远小于电子,所以正离子空间电荷区的电荷密度比电子空间电荷区要大得多,让整个极间电压几乎全部集中在阴极附近的狭窄区域内。这也是辉光放电的显著特征,而且在辉光正常放电时,两极间电压不会随着电流的改变而发生变化。 1、清洗作用:能够去除基体表面的弱键以及典型-CH 基有(机)污染物和氧化物。       主要特点: 针对材料表面起作用而对内部无侵蚀, 能够得到超高洁净度的表面,为下道工序做好准备。 2、刻蚀作用:利用典型的气体组合形成具有蚀刻性的气相等离子体与物体表面的有(机)物材料发生化学反应,生成其他比如 CO、CO2、H2O 等气体,以此达到等离子蚀刻的目的。      主要特点:材料工件刻蚀均匀;不伤害工件基体;能够有效去除表面异物达到理想的刻蚀度。 3、活(化)作用: 在基体表面形成 C=O 羰基 (Carbonyl) 、 -COOH 羧基(Carboxyl) 、 OH 羟基(Hydroxyl)三种基团。这些基团具有稳定的亲水性能,对粘接有着积极作用。      主要特点:可使聚合物表面出现活性原子、自由基和不饱和键,这些活性基团与等离子体中的活性粒子发生反应而生成新的活性基团,增加表面能量,改变表面的化学特性,能够有效地增强表面附着力及粘结力。 4、涂层(接枝、沉积)作用:在等离子涂镀中两种气体同时进入反应舱,气体在等离子作用下聚合。这种应用比活(化)和清洗的要求要更严格一些。典型应用就是保护层的形成,应用于燃料容器、防刮表面、类似聚四氟乙烯(PTFE)材质的涂镀、防水镀层等。       主要特点: 可使材料表面分子链发生断裂产生新的自由基、双键等活性基团, 并因此过程中产生交联、 接枝等反应;活性气体能够在材料表面聚合产生一层沉积层,该沉积层的存在将有效地提高材料表面的粘接、涂覆和印刷的结合力。
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2021
06-15

你等离子体的发生原理和等离子清洗设备的应用分析吗

        等离子体是气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的独特现象和物质。典型等离子是由电子、离子、自由基和质子组成 。就像把固体转变成气体需要能量一样,产生等离子体也需要能量。等离子体能够导电,与电磁力起反应。等离子清洗机中产生等离子体的装置,是在密封容器中设置两个电极形成电场的,然后实现一定的真空度,随着气体愈来愈稀薄,分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长,在电场作用下,发生碰撞而形成等离子体,产生辉光放电。辉光放电时的气压大小、放电功率、气体成分及流动速度和材料类型等对材料刻蚀效(果)有很大影响。         由于等离子体产生的辉光放电是真空紫外光,其对刻蚀率有十(分)积极的影响,气体中包含中性粒子、离子和电子。中性粒子和离子温度102k~103k,电子能量对应的温度高达105k,被称为“非平衡等离子体”或“冷等离子体”,表现为电中性(准中性);气体所产生的自由基和离子活性很高,其能量几乎足以破坏所有的化学键,在任(何)暴露的表面引起化学反应。等离子体中粒子的能量一般为几个致几十个电子伏特,大于聚合物材料的结合键能(几个致几十个电子伏特),完(全)可以破裂有(机)大分子的化学键而形成新键,但远低于高能放射性射线,只涉及材料表面,不影响基体的性能。         当前,等离子体技术已经广泛应用于科学技术及国民经济各个领域中,在新能源、新材料、手机制造、半导体、生物医疗和航空航天等行业取得了巨(大)成功。等离子体技术的发展,促进了等离子表面清洗设备的研发制造,催生出了诸多如诚峰智造这样类型的等离子设备厂家,专(业)提供等离子技术解决方案的高新技术企业。等离子表面清洗设备的应用,将材料暴露于非聚合性气体的等离子体中,利用等离子体轰击材料表面,引起材料表面结构的许多变化而实现对材料的活(化)改性功能。等离子表面清洗机对材料表面改性的功能层极薄(几到几百纳(米)),不会影响材料整体宏观性能,属于一种无损工艺。等离子体表面改性还可以利用等离子体聚合或接枝聚合功能在材料表面生成超薄、均匀、连续无孔的高功能,实现疏水、耐磨、装饰等功能。等离子表面清洗设备的等离子体对高分子材料进行表面改性,以达到高性能或高功能,是经济、有效地开发新材料的重要途径。等离子体技术对材料表面的处理应用,提(升)了材料的使用性能和运用效益,从而达到对产品效益的提高。这既是提高了社会生产效率,提(升)了生产工艺水平,也是一种对等离子体技术的认可。
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2021
06-13

今日让我们一起探讨等离子体清洗技术应用分析

       等离子体表面清洗可用于芯片粘结之前的处理,由于未处理材料表明普遍的疏水性和惰性,其表面粘结性能通常很差,粘结过程中很容易在界面产生空洞。活(化)后的表面能改善环氧树脂等高分子材料在表面的流动性能,提供良好的接触表面和芯片粘结浸润性,可有效防止或减少空洞形成,改善热传导能力。清洗常用的表面活(化)工艺是通过氧气、氮气或它们的混合气等离子体来完成的。微波半导体器件在烧结前采用等离子体清洗管座,对保证烧结质量十(分)有效。        其中引线框架在当今的塑封中仍占有相当大的市场份额,其主要采用导热性、导电性、加工性能良好的铜合金材料制作引线框架。但铜的氧化物及其他一些污染物会造成模塑料与铜引线框架分层,并影响芯片粘接和引线键合质量,确保引线框架清洁是保证封装可靠性的关键。研究表明,采用氢氩混合气体,激发频率13.56MHz,能够有效地去除引线框架金属层上的污染物,氢等离子体能够去除氧化物,而氩通过离子化能够促进氢等离子体数量的增加。为了对比清洗效(果),J.H.Hsieh把铜引线框架经175℃氧化后,采用两种气体Ar和Ar/H2(1∶4)等离子体清洗,时间分别为2.5min和12min,检(测)结果表明,引线框架表面氧化物残余量很少,氧的含量为0.1at%。        在微电子、光电子、MEMS封装方面,等离子技术正广泛应用于封装材料清洗及活(化),对解决电子元器件存在的表面沾污、界面状态不稳定、烧结及键合不良等缺陷隐患,提(升)质量管理和工序控制能力具有可操作性的积极作用,改善材料表面特性,提高封装产品性能,需要选择合适的清洗方式和清洗时间,对提高封装质量和可靠性极为重要。离子体清洗的类别基本的等离子体清洗设备由四大部分组成,即激发电源、真空泵、真空腔、反应气体源。激发电源是提供气体放电能量来源的电源,可以采用不同的频率;真空泵的主要作用是抽走副产品,包括旋片式机械泵或增压泵;真空腔内带有放电电离的电极,将反应气体变成等离子体;反应气体源一般采用的气体有氩、氧、氢、氮、四氯化碳等单一气体,或两种气体混合使用。有许多因素支配着等离子体清洗的效用,这些因素包含化学性质的选择、制程参数、功率、时间、零件放置及电极构造。不同的清洗用途所需要的设备结构、电极接法、反应气体种类是不同的,其工艺原理也有很大区别,有的是物理反应,有的是化学反应,有的是物理化学两种作用都产生,反应的有效性取决于等离子体气源、等离子系统的组合及等离子工艺操作参数。表1示出半导体生产中等离子工艺的选择及应用,等离子体腐蚀、等离子体去胶较早被半导体生产前部工序采用,利用常压辉光冷等离子体所产生的活性物质对有(机)沾污和光刻胶进行清洗,是替代湿化学清洗方法的一种绿色手段。        1 化学反应为主的清洗        表面反应以化学反应为主的等离子体清洗,习惯上称等离子清洗PE,许多气体的等离子态可产生高活性的粒子。从化学反应式可知,典型的PE工艺是氧气或氢气等离子体工艺,用氧等离子通过化学反应,能够使非挥发性有(机)物变成易挥发性的CO2和水汽,去除沾污物,使表面清洁;用氢的等离子可通过化学反应,去除金属表面氧化层,清洁金属表面。反应气体电离产生的高活性反应粒子,在一定条件下与被清洗物体表面发生化学反应,反应生成物是易挥发性物,可以被抽走,而针对被清(除)物的化学成分,选择合适的反应气体组分是极为重要的。PE的特点是表面改性,清洗速度较快,选择性好,对有(机)沾污污染比较有效。其不足是可能产生氧化物。        2 物理反应为主的清洗        表面反应以物理反应为主的等离子体清洗,也称为溅射腐蚀SPE或离子铣IM。表面物理溅射是指等离子体中的正离子在电场获得能量去轰击表面,撞击移去表面分子片段和原子,使污染物从表面去除,并能够使表面在分子级范围改变微观形态粗糙化,从而改善表面的粘结性能。氩气本身是惰性气体,等离子态的氩气并不和表面发生反应,常用的工艺是氩等离子通过物理溅射使表面清洁。等离子体物理清洗不会产生氧化副作用,保持被清洗物的化学纯洁性,腐蚀作用各向异性,缺点是对表面产生很大的损害和热效应,选择性差,速度较低。
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