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<span class="bt">真空等离子处理系统</span><br><span class="ms">Vacuum plasma processing system</span>

真空式等离子处理系统
Vacuum plasma processing system

专为半导体IC/封装领域表面清洗与改性设计，可用于处理各种电子材料， 包括塑料、金属、玻璃等


半导体IC领域的表面清洗与改性
印刷线路板行业的表面清洗、去钻污、活化
硅胶、塑胶、聚合体领域的表面粗化、刻蚀、活化
汽车电子行业的表面改性与清洁
航空工业领域的表面清洗
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全自动On-Line式AP等离子处理系统
Fully automatic On-Line AP plasma processing system

AP宽幅等离子清洗机，适用于FPC&PCB表面处理，复合型材料、玻璃、ITO、面板等行业领域的表面处理。


处理温度可≤35℃以下
灵活On-Line安装方式
电子和离子的能量可达10eV以上
材料批处理的效率可高于低气压辉光放电装置效率10倍以上
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喷射型AP等离子处理系统
Jet type AP plasma processing system

专为安装于产线上处理而设计，适用于触摸屏、玻璃、金属、塑胶、纺织品、再生或复合材料的高效清洗、活化和涂层。


消费类电子的表面处理和改性
LCD面板表面清洗和改性
FPC&PCB表面清洗和活化
国防工业的航空航天电连接器表面清洗
通用行业的丝网印刷、转移印刷前处理
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消费类电子行业

大部分产品的表面均存在有机或无机的污染物，由此在后工序加工时会影响产品的品质，特别是对于需要粘接、印刷、贴合等工序时。此时需要等离子进行表面清洁处理。

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新能源行业

如：1、玻璃基板去除表面污染物，使工件表面亲水性大大提高；2、ITO阳极表面改性，改善器件的光伏性能；3、通过采用等离子体技术，可活化硅片表面，大大提高其表面附着力。

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汽车制造业

随着经济的发展，消费者对汽车的性能要求越来越高，如汽车的外观、操作舒适性可靠性、使用耐久性等要求也不断提高。为了满足消费者的要求，各汽车厂家在生产汽车时更注重细节方面的优化改进

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半导体芯片行业

对芯片与封装基板的表面进行等离子体处理能有效增加其表面活性，极大的改善粘接环氧树脂在其表面的流动性，提高芯片和封装基板的粘结浸润性，减少芯片与基板的分层，改善热传导能力，提高IC封装的可靠性稳定性，增加产品的寿命。

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医疗行业

如：介入治疗用的心脏冠状动脉支架，经等离子体清洗之后还要用等离子体涂敷上抗血凝和抗表皮增生材料。

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重工业领域

如：1、锂电池隔膜行业通过等离子处理改善了材料表面特性，大大提高了电池性能；2、航空航天连接器通过等离子处理改善了材料表面特性，大大提高了电池性能；增强其表面活性，使得粘接效果明显改善。

重工业

重工业

应用于电池隔膜处理，提高吸碱率及亲水性。电池隔膜均为高分子材料，极性弱。分子难以透过，使用等离子处理后，改善了材料表面特性，大大提高了电池性能。 
2020-06-10 52
医疗行业

医疗行业

导尿管给需要留置导尿的患者带来了福音，在临床上的应用越来越广，但随着其应用的增多，导尿管拔除困难的情况也越来越常见。特别是长期留置的导尿管，有时由于橡胶的老化会造成气囊管腔的阻塞，强行拔除时可能会引起严重的并发症。为了防止硅橡胶与人体接触表面的老化，需要对其表面进行氧等离子处理。
2020-06-10 0
半导体芯片行业

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芯片与封装基板的粘接，往往是两种不同性质的材料，材料表面通常呈现为疏水性和隋性特征，其表面粘接性能较差，粘接过程中界面容易产 生空隙，给密封封装后的芯片带来很大的隐患，对芯片与封装基板的表面进行等离子体处理能有效增加其表面活性，极大的改善粘接环氧树脂在其表面的流动性，提高芯片和封装基板的粘结浸润性，减少芯片与基板的分层，改善热传导能力，提高IC封装的可靠性稳定性，增加产品的寿命。
2020-06-10 0
汽车制造业

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随着经济的发展，消费者对汽车的性能要求越来越高，如汽车的外观、操作舒适性可靠性、使用耐久性等要求也不断提高。为了满足消费者的要求，各汽车厂家在生产汽车时更注重细节方面的优化改进，如进行
2020-06-10 0
新能源行业

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使用等离子体技术，对材料表面进行轰击，可有效去除表面污染物，使工件表面亲水性大大提高。清洗后的水滴夹角小于5度，为下道工序的进行奠定良好基础。
2020-06-10 0
消费类电子行业

消费类电子行业

用于清洗Wafer，去除表面光刻胶。具有高度的均匀性，稳定的刻蚀速率。
2020-07-28 0
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关于我们

深圳市诚峰智造有限公司是一家集研发；制造；销售为一体的高新技术企业。公司设立等离子事业部(主营等离子清洗机、CRF plasma等离子设备、等离子表面处理机)；五金冲压部；钣金部；精密五金模具部；涂装部。产品广泛应用于通信；汽车；家电；纺织；航天航空；生物工程；精密制造等行业。公司秉承诚信；拼搏；创新的精神理念，立足中国，面向全球。

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公司动态
业界动态
2020
09-25

半导体等离子清洗机制造应用

等离子体辅助清洗技术是先进制造业中的一种精密清洗技术，可广泛应用于很多行业，下面为大家介绍一下，等离子体清洗技术在半导体制造业中的应用。         化学气相沉积(CVD)和刻蚀在半导体加工中得到了广泛的应用，CVD可用于多晶硅薄膜、氮化硅薄膜、二氧化硅薄膜和钨等金属薄膜的沉积。另外，微三级管和电路中起连接作用的细导线也采用了CVD技术在绝缘层上。         CVD反应过后，部分残留物会在CVD反应腔内壁沉积，这里的危险在于，这些残留物将从内壁脱离出来，污染了随后的循环过程。所以，在新的沉积工艺开始之前，需要用等离子清洗机清洗CVD腔，以保持合格产品输出。常用的清洗气体是PFCs和SF6等含F气体，可作为等离子体发生气体用来清洗CVD腔室壁上的Sio2或Si3N4。再循环过程中，FFC在等离子体作用下分解出的F原子能刻蚀掉电极、腔室壁上的残留物，以及腔内五金器件上的残留物。         在等离子清洗机清洗的过程中，有相当一部分腔室内的FFC并没有离解为活性F原子。除非采用减少排放技术，不然这部分未反应的含F气体将流入大气层。由于这些气体在大气中存在时间较长，将大大加剧全球变暖，其热量比二氧化碳高出4个量级，因此，环境组织从1994年起就开始开发技术来减少这些气体的排放。氮气对温室效应的影响不大，可代替上述含F气体。         半导体工业中的另一个生产步骤是使用等离子清洗机来清洗硅胶片上元件表面的感光有机材料制造的光刻胶。在沉淀过程开始之前，残余的光刻胶必须清除干净，使用热硫酸和过氧化氢溶液或其它有毒有机溶剂对胶体进行脱胶，这样会导致环保问题，但采用等离子清洗机清洗时，可采用三氧化硫等气体脱胶，从而减少了对化学溶剂和有机溶剂的依赖。对一般生产厂家而言，采用等离子去胶技术，可使化学溶液用量减少上千倍不止，不仅环保，而且为企业节省了大量资金。
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2020
09-24

碳纤维等离子体表面处理改善亲水性能

碳纤维作为一种重要纤维材料，碳纤维具有高比强度、高比模量、耐高温、耐腐蚀等优良性能，在国防军工、航空航天、武器装备、交通运输、生物医药等高新技术产业中有着广泛的应用。但是，由于碳纤维是由片状石墨微晶等有机纤维沿纤维轴向堆彻而成的微晶石墨材料，其表面呈高度晶化、无极性的石墨片层结构，具有化学惰性，导致其表界面性能较差，严重影响后续复合材料的综合性能，在特定工况下的应用受到很大限制，等离子体表面处理技术可以改善其问题。         当前，碳纤维的表面改性已经成为碳纤维生产过程中不可或缺的重要环节。碳纤维生产企业，如日本东丽公司、日本三菱丽阳公司和德国西格里公司，已经把表面改性效果作为衡量碳纤维质量的重要指标。所以对碳纤维进行表面改性，从而提高其表界面亲水等性能，是碳纤维生产和应用的关键。         在过去的几年中，国内外学者和工业界对碳纤维的表面改性进行了大量的研究。在这些因素中，提高碳纤维表面粗糙度、增加表面化学官能团是改善纤维表面界面性能的关键。碳纤维表面改性的常用方法主要有表面氧化、表面涂层、高能射线照射、超临界流体表面接枝及等离子体表面改性等。电化学氧化工艺具有生产连续性强，工艺条件易于控制等特点，已在工业上得到了实际应用。但是它仍然需要使用大量的化学剂，消耗大量的能量，产生大量的废水和废液，而且对于高模量碳纤维来说，氧化困难，需要延长处理时间。         相对于传统工艺等离子体表面处理改性技术具有清洁环保、省时高效等优点，是目前应用很广泛的方法。等离子体表面处理工作原理主要包括两个方面：一方面，通过活性颗粒使纤维表面形成自由基和极性基团，从而提高纤维表面的自由能和浸润性清水性；另一方面，通过蚀刻增加纤维的表面积和表面粗糙度，以清除纤维表面的污染物。         通过常压等离子体清洗机表面处理对水溶液中碳纤维进行表面改性，利用等离子体中的活性粒子与水分子之间的相互作用，在去除碳纤维表面浆料的同时对其进行亲水改性。
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2020
09-23

plasma真空等离子清洗机选型指南

产生于20世纪初的等离子清洗技术，随着高新技术产业的迅速发展，其应用范围日益广泛，目前已在众多高新技术领域中，占据了关键技术的地位。plasma等离子清洗机技术对工业经济和人类文明的影响挺大的，率先推动了电子信息行业，特别是半导体和光电行业的发展。由于等离子清洗机在越来越多的行业中得到了越来越多的应用，如何选择合适的等离子清洗机就成了人们关心的问题，今天我们来谈谈如何选择plasma真空等离子清洗机。 在plasma真空等离子清洗机的选择上，我们主要从以下几个方面考虑。 先由腔体尺寸确定等离子清洗机的型号，腔体尺寸主要从以下两方面考虑。 1、工件尺寸： 一般而言，真空等离子清洗机的分类主要是根据空腔尺寸和空腔材料来划分的，选择空腔尺寸时首先要考虑的是工件尺寸，也就是说，至少要能够将工件放下去，如果工件连放都放不下去，再考虑其他因素也没有多大意义。 2、生产能力： 对于产能要求较高的产品，一定要根据产能选择空腔尺寸，空腔尺寸越大，一次加工的产品越多，如果产能要求不高，则优先考虑工件尺寸。当工件可以放下时，我们可以根据其生产能力计算出合适的空腔尺寸。 我们要考虑的第二个问题，是选择什么频率的等离子清洗机。 频率选择： 现在通常使用的频率有40KHz和13.56MHz，20Mhz。40kHz的自偏压为1000V左右，13.56MHz自偏压为250V左右，20MHz的自偏压则更低，这三种激发频率的机制不同，40kHz发生的反应为物理反应，13.56MHz发生的反应既有物理反应又有化学反应，20MHz有物理反应但更主要的反应为化学反应。 空腔材质选择： 现在常用的腔材料有以下几种：石英腔、不锈钢腔、铝合金腔，这三种腔各有优点，石英腔温度较低，而且不容易发生反应。铝型材的优点：1、铝型材密度低，强度高，优于钢，具有较好的机械加工性能。铝具有良好的导电、导热和抗腐蚀性能。材料对化学反应的兼容性较好，不易产生金属污染，不会产生污染等。 真空泵选择： 到底是选用国产的，还是进口的，是干泵还是油泵，是单级泵，还是双极泵，每种真空泵的选择都可以根据客户的实际需要而定，在此不再赘述。 气路选择： 一般真空等离子清洗机都是两路气路，但这不能满足所有的处理要求，如果需要更多的反应气，则气道要适当增加，这也是根据用户的实际需要，选择多路气路。
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2020
09-25

塑料等离子表面处理机

塑胶是以有机大分子为基础的固态物质，通过人工合成产生，或者通过对其进行改性天然产物。它可以被区分为热塑性材料(可熔性、可浇注性和可模压性)和热固性材料(仅在单体状态下是可浇注的，可聚合的)，然后再被固化。纯状态下，塑料是很好的绝缘材料，密度介于0.9g/cm3和1.5g/cm3之间(发泡状态除外)。         一般来说，它是具有可燃性的。塑料的硬度、刚度和强度比金属建筑材料低。不同的共聚物可以有具有橡胶弹性特性。通过添加剂和填料或等离子表面处理机对塑料进行各种改性，例如调整其导电性能，或用高性能纤维强化处理，也能使其硬度优于钢铁。         塑料表面的典型缺陷：胶粘剂、涂漆、印刷油墨等粘附着性能差，硬度低、耐磨损性能差；通过等离子处理可以改进或完全改变以下特性：采用等离子表面处理机进行等离子活化和蚀刻工艺，可明显改善涂层的润湿性和附着力。         大部分塑料的表面张力非常小。它的表面张力一般比大多数液体都要小，这里提到的液体就是构成粘结剂、涂料和油漆的基本成分。所以，由于涂层的原因，使得润湿性较小，因而粘附性也较小，这是因为大多数塑料都具有非极性的特性导致的。氧气等离子体表面处理机处理后对非极性塑料表面张力的提高有明显作用，由于在所涂覆液体中，由于氧自由基的高活性，形成极性桥键。这样就提高了塑料表面张力和润湿性，当蚀刻塑料时，可增大其表面积，这可使其粘结得更好。
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2020
09-24

等离子表面处理机锂电池极片涂覆前处理

锂离子电池的生产制造，是由一个个工艺步骤严密联络起来的过程。整体来说，锂电池的生产包括极片制造工艺、电芯制作工艺以及电池组装工艺。在这三个阶段的工艺中，每道工序又可分为数道关键工艺，每一步都会对电池的性能形成很大的影响。所以等离子表面处理机在锂电池行业的应用应运而生。 锂电池市场分析： 随着对电极材料结构与性能关系的深入研究，从分子水平上设计出具有多种规整结构或掺杂有多种复合结构的正负极材料，将有力地推动锂离子电池的研究和应用。继镍-镉、镍-氢电池之后，锂离子电池将是未来相当长一段时间内，市场前景好。 根据需求趋势，电动汽车市场将逐步成为一个锂电池应用大领域。GGII预计，未来2022年全球新能源汽车销量将达600万辆，比2017年增长2.7倍，受到以下因素的影响：政策的持续推进，技术进步，消费者习惯的改变，配套设施的普及，以及电动汽车对锂电池的需求将在同期超过325GWh，比2017年增长3.7倍。同时，锂电池行业的竞争将主要集中在新能源动力车领域。 今后动力电池将是锂离子电池领域成长引擎，其向高能量密度、高安全性方向发展的趋势已定，动力电池和高端数码锂离子电池将成为锂离子电池市场的主要增长点，6μm以下的锂电铜箔将成为锂离子电池的关键原材料，成为主流企业布局的重点。 涂布设备和涂布工艺的选择： 涂布工艺包括：开卷→接片→拉片→张力控制→涂布→干燥→纠偏→张力控制→纠偏→收卷等过程。 涂布工艺复杂，同时影响涂布效果的因素较多，如：设备的制造精度、设备运行的平稳性、涂层过程中动态张力的控制、干燥气流的大小及温度控制曲线等，因此选择合适的涂层工艺非常重要，这时等离子表面处理机就显示出了它的可靠性。 常用的涂布方法需要从以下几个方面考虑：涂布层数、湿涂层厚度、涂布液的流变性、所需的涂布精度、涂布支撑体或基材、涂布速度等。 基材-铜箔和铝箔： 表面张力：铜铝箔的表面张力必须大于涂覆溶液的表面张力，否则溶液在基材上平铺会很困难，造成涂布质量较差。必须遵循的一条原则是：所要涂覆的溶液的表面张力应比基材低5dynes/cm，当然这仅仅是粗略计算的。通过调整配方或基材表面处理，可调节溶液和基材的表面张力。对两种表面张力的测量也应作为质量控制的一项测试项目。 正由于涂布工艺对基体的表面张力有很高的要求，所以等离子清洗能有效地解决这个问题。在溅射、喷漆、粘合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂层之前，铝箔金属表面经常会有油脂、油污等有机物和氧化层，这些都需要清洗处理，才能得到完全清洁、无氧化的表面。但现有技术大多采用化学清洗方法，需要溶剂，不环保，又易产生“氢脆”现象，去污效果不理想，除污速度慢，且易影响铝箔的机械性能指标，使用等离子清洗表面处理机可解决上述问题。 锂电池组的正负极材料是将锂电池正负极材料涂覆在金属薄带上，金属薄带在涂覆电极材料时，需要清洗金属薄带，金属薄带一般为铝薄或铜薄，原湿式乙醇清洗，易损坏锂电池的其他部件。干式清洗等离子体清洗机能有效解决上述问题。
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2020
09-23

等离子清洗机清洗原理介绍

等离子清洗机的作用原理，主要是通过等离子体作用于材料表面，引起一系列的物理、化学变化，利用含有的活性粒子和高能射线，与表面有机污染物分子反应，碰撞形成小分子挥发物，从表面去除，达到清洗效果。真空等离子清洗机是利用射频电源在真空腔内产生高能无序等离子体，在一定压力下，对产品表面进行等离子轰击，从而达到清洗目的，常压设备是在大气压的状态下对产品表面进行处理。 清洗、刻蚀： 举例来说，在等离子清洗机清洗时工作气体通常是使用氧气，经过加速电子的轰击，变成氧离子、自由基，氧化性很强。零件表面的污染物，如油脂、助焊剂、感光膜、脱模剂、冲床油等，会迅速氧化成二氧化碳和水，并通过真空泵排出，以达到清洁表面，提高浸润性和粘结性的目的。在材料表面进行低温等离子处理后，不会影响材料主体的性能。因为等离子体清洗是在高真空条件下进行的，所以等离子体中的各种活化离子自由度很大，它们具有很强的渗透能力，可以进行复杂结构的处理，包括细管和盲孔。 引进官能团： 用N2、NH3、O2、SO2等离子气体处理高分子材料，可改变表面的化学结构，从而引入相应的官能基团：-NH2、-OH、-COOH、-SO3H等。这类功能化官能团，如聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚四氟乙烯等，可转变为具有提高表面极性、浸润性、可粘结性和反应性的官能团材料，大大提高了其应用价值。通过含氟气体的低温等离子体处理，可以将氟原子引入基材表面，从而使基材具有憎水性，这与氧等离子体相反。 聚合： 许多乙烯类单体，如乙烯、苯乙烯等，可在等离子体条件下，无需其它催化剂和引发剂，就可在工件的表面实现聚合，即使是在常规聚合条件下无法聚合的甲烷、乙烷、苯等，也可在等离子清洗机清洗条件下在工件表面实现聚合。该聚合层可达到非常致密，并与基体材料紧密结合的效果。
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